| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 热电材料的研究现状 | 第9-15页 |
| 1.1.1 热电效应 | 第9-12页 |
| 1.1.2 传统热电材料 | 第12页 |
| 1.1.3 新型热电材料 | 第12-13页 |
| 1.1.4 热电材料的应用 | 第13-14页 |
| 1.1.5 改善材料热电性能的主要方法 | 第14-15页 |
| 1.2 ZnSb基热电薄膜材料 | 第15页 |
| 1.3 第一性原理计算在热电领域中的应用 | 第15-16页 |
| 1.4 主要研究内容及创新点 | 第16-19页 |
| 第二章 实验方法 | 第19-25页 |
| 2.1 ZnSb基热电薄膜的制备 | 第19-22页 |
| 2.1.1 磁控溅射工作原理及镀膜设备 | 第19-20页 |
| 2.1.2 衬底材料的选用及处理 | 第20-21页 |
| 2.1.3 磁控溅射镀膜操作流程 | 第21-22页 |
| 2.2 ZnSb基热电薄膜的性能测试 | 第22-24页 |
| 2.2.1 薄膜厚度测量 | 第22页 |
| 2.2.2 薄膜微观形貌及成分分析 | 第22页 |
| 2.2.3 薄膜XRD测试 | 第22-23页 |
| 2.2.4 薄膜霍尔效应测试 | 第23页 |
| 2.2.5 薄膜Seebeck系数及电导率测试 | 第23-24页 |
| 2.3 VASP软件简介及基本功能 | 第24-25页 |
| 2.3.1 输入文件 | 第24页 |
| 2.3.2 输出文件 | 第24-25页 |
| 第三章 ZnSb热电薄膜制备工艺优化与性能研究 | 第25-32页 |
| 3.1 制备ZnSb热电薄膜工艺参数 | 第25页 |
| 3.2 ZnSb热电薄膜SEM测试结果分析 | 第25-26页 |
| 3.3 退火温度对ZnSb热电薄膜性能的影响 | 第26-28页 |
| 3.3.1 实验参数设定 | 第26页 |
| 3.3.2 薄膜XRD测试结果分析 | 第26-27页 |
| 3.3.3 退火温度对ZnSb热电薄膜电学性能的影响 | 第27-28页 |
| 3.4 退火时间对ZnSb热电薄膜性能的影响 | 第28-29页 |
| 3.4.1 实验参数设定 | 第28页 |
| 3.4.2 薄膜XRD测试结果分析 | 第28-29页 |
| 3.4.3 退火时间对ZnSb热电薄膜电学性能的影响 | 第29页 |
| 3.5 溅射功率对ZnSb热电薄膜性能的影响 | 第29-31页 |
| 3.5.1 实验参数设定 | 第29-30页 |
| 3.5.2 薄膜XRD测试结果分析 | 第30页 |
| 3.5.3 溅射功率对ZnSb热电薄膜电学性能的影响 | 第30-31页 |
| 3.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 Cu掺杂ZnSb基热电薄膜的制备与性能研究 | 第32-38页 |
| 4.1 Cu掺杂ZnSb基热电薄膜制备方法及步骤 | 第32页 |
| 4.2 Cu掺杂ZnSb基热电薄膜SEM测试结果分析 | 第32-33页 |
| 4.3 Cu掺杂ZnSb基热电薄膜的表面形貌分析 | 第33-34页 |
| 4.4 Cu掺杂ZnSb基热电薄膜XRD测试结果分析 | 第34-35页 |
| 4.5 Cu掺杂对ZnSb基热电薄膜电学性能的影响 | 第35-36页 |
| 4.6 本章小结 | 第36-38页 |
| 第五章 Ag掺杂ZnSb基热电薄膜的制备与性能研究 | 第38-45页 |
| 5.1 Ag掺杂ZnSb基热电薄膜制备方法及步骤 | 第38页 |
| 5.2 Ag掺杂ZnSb基热电薄膜SEM测试结果分析 | 第38-39页 |
| 5.3 Ag掺杂ZnSb基热电薄膜的表面形貌分析 | 第39-40页 |
| 5.4 Ag掺杂ZnSb基热电薄膜XRD测试结果分析 | 第40-41页 |
| 5.5 Ag掺杂对ZnSb基热电薄膜电学性能的影响 | 第41-43页 |
| 5.6 本章小结 | 第43-45页 |
| 第六章 ZnSb及其掺杂后形成新相的电子结构分析 | 第45-54页 |
| 6.1 ZnSb热电材料 | 第45-46页 |
| 6.1.1 ZnSb的计算模型 | 第45页 |
| 6.1.2 ZnSb的电子结构分析 | 第45-46页 |
| 6.2 Zn_4Sb_3热电材料 | 第46-48页 |
| 6.2.1 Zn_4Sb_3的计算模型 | 第46-47页 |
| 6.2.2 Zn_4Sb_3的电子结构分析 | 第47-48页 |
| 6.3 Cu_2Sb热电材料 | 第48-50页 |
| 6.3.1 Cu_2Sb的计算模型 | 第48-49页 |
| 6.3.2 Cu_2Sb的电子结构分析 | 第49-50页 |
| 6.4 Cu_(10)Sb_3热电材料 | 第50-51页 |
| 6.4.1 Cu_(10)Sb_3的计算模型 | 第50页 |
| 6.4.2 Cu_(10)Sb_3的电子结构分析 | 第50-51页 |
| 6.5 Ag_3Sb热电材料 | 第51-53页 |
| 6.5.1 Ag_3Sb的计算模型 | 第51-52页 |
| 6.5.2 Ag_3Sb的电子结构分析 | 第52-53页 |
| 6.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论与展望 | 第54-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 个人简历 | 第64-65页 |
| 在学期间的研究成果 | 第65页 |
