| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 硅基光子学的发展背景与现状 | 第12-15页 |
| 1.2 硅基光功分器的典型应用 | 第15-17页 |
| 1.3 硅基光波导器件中的偏振问题 | 第17-19页 |
| 1.4 本文的主要内容及创新点 | 第19-22页 |
| 2 光波导基本理论及数值计算方法 | 第22-34页 |
| 2.1 典型光波导材料与结构 | 第22-23页 |
| 2.2 光波导模式计算方法 | 第23-29页 |
| 2.2.1 平板波导 | 第23-26页 |
| 2.2.2 条形波导 | 第26-29页 |
| 2.3 光波导传输的数值计算 | 第29-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 3 基于硅波导的光功率分配器 | 第34-46页 |
| 3.1 光功分器的一般技术参数 | 第34-35页 |
| 3.2 基于硅波导的光功分器的主要实现方案 | 第35-39页 |
| 3.2.1 基于Y分支的光功分器 | 第35-36页 |
| 3.2.2 基于MMI的光功分器 | 第36-37页 |
| 3.2.3 基于DC的光功分器 | 第37-39页 |
| 3.3 基于DC的大带宽且偏振不敏感型光功分器的设计 | 第39-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 4 硅基光功分器的制备与测试 | 第46-60页 |
| 4.1 硅基光功分器的制备工艺 | 第46-52页 |
| 4.1.1 清洗与匀胶 | 第46-47页 |
| 4.1.2 曝光与显影 | 第47-49页 |
| 4.1.3 干法刻蚀 | 第49-50页 |
| 4.1.4 套刻光栅 | 第50-51页 |
| 4.1.5 薄膜生长 | 第51-52页 |
| 4.2 硅基光功分器的测试 | 第52-58页 |
| 4.2.1 硅波导与光纤的耦合 | 第52-55页 |
| 4.2.2 硅基光功分器传输特性的测试 | 第55-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-60页 |
| 5 硅波导与光纤阵列的耦合封装 | 第60-64页 |
| 5.1 对准封装平台及封装过程的介绍 | 第61-62页 |
| 5.2 封装芯片成品展示 | 第62-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 作者简介 | 第72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及专利 | 第72页 |