SU-8胶模溶胀性及其隔离带控制工艺研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| ·课题研究的背景 | 第10页 |
| ·UV-LIGA技术在微金属模具制作中应用研究 | 第10-12页 |
| ·SU-8胶溶胀性的研究进展 | 第12-14页 |
| ·本文的主要工作 | 第14-15页 |
| 2 SU-8胶膜宽度与其溶胀量关系研究 | 第15-27页 |
| ·SU-8胶光刻工艺 | 第15-16页 |
| ·矩形胶模的溶胀性研究 | 第16-26页 |
| ·溶胀性研究实验方案 | 第17页 |
| ·溶胀性研究实验过程 | 第17-18页 |
| ·溶胀性研究实验结果与分析 | 第18-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 隔离带技术在热压镍模具制作中的应用 | 第27-39页 |
| ·微电铸工艺 | 第27-29页 |
| ·电铸液的溶液成分 | 第27-28页 |
| ·微电铸的工艺参数 | 第28-29页 |
| ·使用隔离带技术制作金属镍模具 | 第29-32页 |
| ·实验过程中的问题分析 | 第32-35页 |
| ·填充物对隔离带作用的影响 | 第35-37页 |
| ·填充物影响实验方案 | 第35-36页 |
| ·填充物影响实验过程 | 第36页 |
| ·填充物影响实验结果 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 4 薄胶隔离带技术制作热压模具及其应用 | 第39-46页 |
| ·聚合物流场板热压用镍模具制作 | 第39-43页 |
| ·热压模具制作方案 | 第39页 |
| ·热压模具制作过程 | 第39-40页 |
| ·热压模具制作结果 | 第40-43页 |
| ·流场板的热压 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 结论 | 第46页 |
| 展望 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-53页 |
