微电铸结构尺寸误差的仿真及实验研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·基于SU-8胶的UV-LIGA技术概述 | 第10-11页 |
| ·光刻胶的吸湿溶胀现象 | 第11-13页 |
| ·降低胶模溶胀的研究现状 | 第13-15页 |
| ·超声在固态高聚物改性方面的研究现状 | 第15-16页 |
| ·课题的研究内容 | 第16-18页 |
| 2 SU-8胶溶胀分析 | 第18-28页 |
| ·热溶胀辨析 | 第18-19页 |
| ·聚合物溶胀机理 | 第19-23页 |
| ·吸湿溶胀动力学 | 第20-21页 |
| ·溶胀平衡热力学 | 第21-23页 |
| ·胶体溶胀的数学模型 | 第23-27页 |
| ·无基底约束的薄膜试样溶胀模型 | 第23-24页 |
| ·物质扩散-结构变形耦合场有限元分析模型 | 第24-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 微电铸结构尺寸误差的仿真分析 | 第28-41页 |
| ·溶胀参数的测定 | 第28-29页 |
| ·仿真方案 | 第29-30页 |
| ·胶模浸泡溶胀仿真 | 第30-34页 |
| ·仿真步骤 | 第31-32页 |
| ·仿真结果及分析 | 第32-34页 |
| ·电铸结构尺寸误差仿真 | 第34-40页 |
| ·仿真步骤 | 第35-37页 |
| ·仿真结果及分析 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 超声处理降低SU-8胶吸湿溶胀的研究 | 第41-51页 |
| ·引入超声处理的电铸实验 | 第41-44页 |
| ·实验材料与设备 | 第41-42页 |
| ·实验步骤 | 第42-44页 |
| ·实验结果及分析 | 第44-49页 |
| ·超声对SU-8胶与水的接触角的影响 | 第44-46页 |
| ·超声对显影过程的影响 | 第46-47页 |
| ·超声对电铸过程的影响 | 第47-49页 |
| ·超声处理降低SU-8胶吸湿溶胀的机理 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
