| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 选题的背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.1.1 选题背景 | 第10-11页 |
| 1.1.2 选题的意义 | 第11-12页 |
| 1.2 具有垂直轴系的超精密机床的的研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3 具有垂直轴系的超精密机床文献综述 | 第15-16页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 卸荷气缸动态响应分析及实验验证 | 第18-33页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 卸荷气缸动态响应分析软件的选择 | 第18-19页 |
| 2.3 卸荷气缸动态响应分析数值模型的选择 | 第19-26页 |
| 2.3.1 卸荷气缸的仿真模型 | 第19-20页 |
| 2.3.2 RNGk-ε模型的方程 | 第20-21页 |
| 2.3.3 网格划分与边界条件 | 第21-22页 |
| 2.3.4 动网格原理 | 第22-23页 |
| 2.3.5 卸荷气缸动态响应计算的求解器设置 | 第23-24页 |
| 2.3.6 模拟卸荷气缸活塞运动 | 第24-26页 |
| 2.4 卸荷气缸的动态响应分析 | 第26-30页 |
| 2.4.1 活塞运动过程中卸荷气缸的流场变化 | 第26-27页 |
| 2.4.2 启动加速度对卸荷气缸内负压的影响 | 第27-28页 |
| 2.4.3 负压对卸荷气缸动态响应的影响 | 第28-29页 |
| 2.4.4 进气孔直径对卸荷气缸动态响应的影响 | 第29-30页 |
| 2.4.5 起始高度对卸荷气缸动态响应的影响 | 第30页 |
| 2.5 卸荷气缸的动态响应实验 | 第30-32页 |
| 2.5.1 实验装置 | 第31页 |
| 2.5.2 实验结果分析 | 第31-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 卸荷气缸气体静压轴承的静态性能研究及实验验证 | 第33-55页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 卸荷气缸气体静压轴承数学模型建立 | 第33-40页 |
| 3.2.1 卸荷气缸气体静压轴承的工作原理 | 第33-34页 |
| 3.2.2 模型建立的基本假设 | 第34-35页 |
| 3.2.3 卸荷气缸气体静压轴承的气体润滑Reynolds方程的一般形式 | 第35-38页 |
| 3.2.4 卸荷气缸气体静压轴承的气膜厚度计算 | 第38-39页 |
| 3.2.5 卸荷气缸气体静压轴承的小孔流量特性 | 第39-40页 |
| 3.3 基于FLUENT软件的静态特性分析方法 | 第40-43页 |
| 3.3.1 静态特性计算 | 第40-41页 |
| 3.3.2 基于FLUENT软件的仿真分析流程 | 第41页 |
| 3.3.3 网格的划分 | 第41-43页 |
| 3.4 卸荷气缸气体静压轴承的静态特性分析 | 第43-50页 |
| 3.4.1 卸荷气缸气体静压轴承气膜的压力分布 | 第43-44页 |
| 3.4.2 偏心率对卸荷气缸气体静压轴承静态性能的影响 | 第44-46页 |
| 3.4.3 平均气膜厚度对卸荷气缸气体静压轴承静态性能的影响 | 第46-48页 |
| 3.4.4 小孔位置对卸荷气缸气体静压轴承静态性能的影响 | 第48-49页 |
| 3.4.5 供气压力对卸荷气缸气体静压轴承静态性能的影响 | 第49-50页 |
| 3.5 卸荷气缸气体静压轴承静态性能实验 | 第50-54页 |
| 3.5.1 实验原理 | 第50-52页 |
| 3.5.2 实验装置 | 第52页 |
| 3.5.3 实验结果及分析 | 第52-54页 |
| 3.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 偏载条件下超精密垂直轴系液体静压导轨的静态性能研究 | 第55-67页 |
| 4.1 引言 | 第55页 |
| 4.2 超精密垂直轴系液体静压导轨的润滑原理 | 第55-59页 |
| 4.2.1 超精密垂直轴系液体静压导轨结构及工作原理 | 第55-56页 |
| 4.2.2 超精密垂直轴系液体静压润滑的基本假设 | 第56页 |
| 4.2.3 超精密垂直轴系液体静压导轨的静态性能参数 | 第56-57页 |
| 4.2.4 超精密垂直轴系液体静压导轨偏转参数定义 | 第57-58页 |
| 4.2.5 超精密垂直轴系液体静压导轨油膜的分析方法 | 第58-59页 |
| 4.3 液体静压导轨油膜的静态特性分析 | 第59-65页 |
| 4.3.1 常规条件下导轨油膜的压力分布和静态性能 | 第59-60页 |
| 4.3.2 偏载条件下的侧向导轨的静态性能分析 | 第60-62页 |
| 4.3.3 偏载条件下的法向导轨的静态性能分析 | 第62-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
