紫外显微镜微纳线宽测量关键技术的研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第16-24页 |
| 1.1 纳米科学技术 | 第16-17页 |
| 1.2 纳米计量技术 | 第17-21页 |
| 1.3 紫外显微镜微纳线宽计量技术研究现状 | 第21-23页 |
| 1.4 本文研究的主要内容 | 第23-24页 |
| 第二章 计量型紫外显微镜微纳线宽测量系统 | 第24-31页 |
| 2.1 系统组成 | 第24-28页 |
| 2.1.1 OLYMPUS紫外光学显微镜 | 第24-27页 |
| 2.1.2 纳米位移台 | 第27-28页 |
| 2.1.3 二维机械位移台 | 第28页 |
| 2.2 微纳线宽测量原理 | 第28-31页 |
| 第三章 线宽测量中自动对焦系统的研究 | 第31-49页 |
| 3.1 自动对焦的基本方法 | 第31页 |
| 3.2 自动对焦系统的硬件设计 | 第31-38页 |
| 3.2.1 图像数据采集模块的设计 | 第32-34页 |
| 3.2.2 1394B数字图像采集卡 | 第34-35页 |
| 3.2.3 执行控制模块 | 第35-38页 |
| 3.3 自动对焦系统的软件设计 | 第38-49页 |
| 3.3.1 对焦评价函数 | 第38-44页 |
| 3.3.2 对焦区域的选取 | 第44-45页 |
| 3.3.3 对焦搜索策略 | 第45-47页 |
| 3.3.4 软件控制功能的实现 | 第47-49页 |
| 第四章 光电倍增管信号放大处理系统的设计 | 第49-62页 |
| 4.1 光电倍增管的选取 | 第49-54页 |
| 4.2 电流放大电路的设计 | 第54-62页 |
| 4.2.1 电路结构的选取 | 第54-56页 |
| 4.2.2 运算放大器的选择 | 第56-57页 |
| 4.2.3 反馈网络的设计 | 第57-59页 |
| 4.2.4 电路的设计与实验 | 第59-62页 |
| 第五章 实验与结论 | 第62-70页 |
| 5.1 基于CCD成像的线宽测量法 | 第62-64页 |
| 5.2 基于PMT光电转换的线宽测量法 | 第64-66页 |
| 5.3 对焦状态对线宽轮廓测量的影响 | 第66-67页 |
| 5.4 两种线宽测量方法的分析和对比 | 第67-68页 |
| 5.5 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第73页 |
