| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第10-12页 |
| 1.2 LED 偏振出光器件的研究现状 | 第12-19页 |
| 1.2.1 实现 LED 偏振出光的主要途径 | 第12页 |
| 1.2.2 亚波长金属光栅偏光器件 | 第12-14页 |
| 1.2.3 亚波长金属光栅的透射增强效应 | 第14-15页 |
| 1.2.4 亚波长金属光栅偏光器件的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.5 亚波长金属光栅的制备工艺 | 第18-19页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 金属表面微纳结构器件的理论研究 | 第21-30页 |
| 2.1 波在金属中的传播 | 第21-23页 |
| 2.2 亚波长光栅结构的等效介质理论 | 第23-27页 |
| 2.2.1 等效折射率和周期阈值 | 第23-26页 |
| 2.2.2 介质膜理论 | 第26-27页 |
| 2.3 时域有限差分（FDTD）方法简介 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 GaN 基 LED 表面复合光栅偏光特性研究 | 第30-42页 |
| 3.1 FDTD 模拟 GaN 表面介质膜结构 | 第30-32页 |
| 3.2 GaN 基 LED 表面嵌入式复合光栅结构偏振出光特性 | 第32-40页 |
| 3.2.1 FDTD 模拟嵌入式复合光栅结构偏振出光简介 | 第32-34页 |
| 3.2.2 光栅结构参数对偏光特性的影响 | 第34-40页 |
| 3.3 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 新型表面微纳偏光结构 | 第42-56页 |
| 4.1 GaN 基 LED 表面空气隙金属光栅结构 | 第42-48页 |
| 4.1.1 空气隙偏振型金属光栅结构 | 第42-43页 |
| 4.1.2 空气隙厚度对偏振特性的影响 | 第43-45页 |
| 4.1.3 其他结构参数对偏光特性的影响 | 第45-47页 |
| 4.1.4 小结 | 第47-48页 |
| 4.2 纳米颗粒阵列的亚波长金属光栅结构 | 第48-55页 |
| 4.2.1 纳米颗粒阵列简立方堆积的偏振出光 | 第49-51页 |
| 4.2.2 光栅深度对纳米颗粒阵列结构偏振出光的影响 | 第51-52页 |
| 4.2.3 纳米颗粒阵列密堆积结构的偏振出光 | 第52-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 亚波长光栅结构的制备 | 第56-65页 |
| 5.1 亚波长光栅结构的制备工艺 | 第56-59页 |
| 5.1.1 激光干涉光刻技术 | 第56-58页 |
| 5.1.2 离子束溅射沉积和离子束刻蚀技术 | 第58-59页 |
| 5.2 亚波长光栅的实验制备 | 第59-63页 |
| 5.3 测试与分析 | 第63-64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结和展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
