| 中文摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-27页 |
| 1.1 磁化等离子体源的发展 | 第10-11页 |
| 1.2 HWP 概述 | 第11-13页 |
| 1.3 HWP 源 | 第13-18页 |
| 1.3.1 当前一些螺旋波装置参数比较 | 第13-15页 |
| 1.3.2 国内外一些螺旋波装置及其应用 | 第15-18页 |
| 1.4 壁清洗技术与 HWP | 第18-19页 |
| 1.5 强磁场螺旋波放电装置基本设计参数 | 第19-20页 |
| 1.6 工作的简要回顾 | 第20-22页 |
| 参考文献 | 第22-27页 |
| 第二章 理论部分 | 第27-38页 |
| 2.1 等离子体概述 | 第27-29页 |
| 2.2 磁场对等离子体的影响 | 第29-37页 |
| 2.2.1 抗磁电流 | 第30-32页 |
| 2.2.2 弱电离磁化等离子体中粒子的输运 | 第32-34页 |
| 2.2.3 弱电离磁化等离子体的电导率 | 第34-37页 |
| 参考文献 | 第37-38页 |
| 第三章 实验装置及诊断系统 | 第38-62页 |
| 3.1 实验装置子系统 | 第38页 |
| 3.2 实验装置结构 | 第38-40页 |
| 3.3 RF 功率输入系统 | 第40-43页 |
| 3.4 射频天线的选择和优化 | 第43-46页 |
| 3.4.1 天线类型选取 | 第43-44页 |
| 3.4.2 天线尺寸计算 | 第44-45页 |
| 3.4.3 天线结构改进 | 第45-46页 |
| 3.5 磁场发生系统 | 第46-53页 |
| 3.5.1 磁场系统设计规格 | 第46-47页 |
| 3.5.2 磁场线圈水冷系统 | 第47页 |
| 3.5.3 磁场位型的模拟及测量 | 第47-49页 |
| 3.5.4 螺旋波放电所需轴向磁场理论计算 | 第49-53页 |
| 3.6 气体流量控制及真空系统 | 第53-54页 |
| 3.6.1 气体流量控制系统 | 第53-54页 |
| 3.6.2 真空系统 | 第54页 |
| 3.7 等离子体诊断系统 | 第54-60页 |
| 3.7.1 朗缪尔探针 | 第54-58页 |
| 3.7.2 发射光谱 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 第四章 磁化 RF 等离子体放电诊断 | 第62-92页 |
| 4.1 装置放电的 3 种模式 | 第62-65页 |
| 4.2 ICP 模式放电研究 | 第65-78页 |
| 4.2.1 功率对不同径向位置处等离子体的影响 | 第65-68页 |
| 4.2.2 磁场对不同径向位置处等离子体的影响 | 第68-69页 |
| 4.2.3 ICP 模式下靶材区域等离子体空间分布定性测量 | 第69-72页 |
| 4.2.4 ICP 放电模式下利用可见光谱研究不同天线结构对放电的影响 | 第72-78页 |
| 4.3 HWP 模式放电研究 | 第78-86页 |
| 4.3.1 HWP 放电模式下发射光谱研究 | 第79-83页 |
| 4.3.2 HWP 放电模式下朗缪尔探针诊断研究 | 第83-86页 |
| 4.4 螺旋波装置对石墨壁材料清洗研究 | 第86-89页 |
| 参考文献 | 第89-92页 |
| 第五章 总结和展望 | 第92-94页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文及科研成果 | 第94-95页 |
| 致谢 | 第95-97页 |