新型硅基纳米线波导及谐振腔的研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 集成光子学的发展概论 | 第11-12页 |
| 1.2 硅基光传输结构的研究与应用 | 第12-23页 |
| 1.2.1 硅基光互连器件及架构 | 第12-19页 |
| 1.2.2 硅基光传感器件 | 第19-23页 |
| 1.3 本文的章节安排 | 第23-24页 |
| 第二章 新型低损耗硅纳米线波导 | 第24-48页 |
| 2.1 硅纳米线波导损耗的来源 | 第24-26页 |
| 2.1.1 平面光波导的损耗 | 第24页 |
| 2.1.2 波导损耗公式推导 | 第24-26页 |
| 2.2 降低硅纳米线波导损耗解决方案 | 第26-36页 |
| 2.2.1 优化刻蚀工艺,降低侧壁粗糙度 | 第27-31页 |
| 2.2.2 采用脊形/条形等混合波导结构 | 第31-33页 |
| 2.2.3 采用氧化等非刻蚀工艺 | 第33-36页 |
| 2.3 基于选择性氧化工艺的硅纳米线波导制作 | 第36-42页 |
| 2.3.1 工艺简介 | 第36-37页 |
| 2.3.2 工艺仿真 | 第37-38页 |
| 2.3.3 实验流程 | 第38-42页 |
| 2.4 选择性氧化硅纳米线波导测试与分析 | 第42-46页 |
| 2.5 本章小结 | 第46-48页 |
| 第三章 超小型悬挂式硅基微盘传感器 | 第48-77页 |
| 3.1 微盘谐振器简介 | 第48-51页 |
| 3.1.1 微盘谐振器发展历史与现状 | 第49页 |
| 3.1.2 微盘谐振器模式理论 | 第49-51页 |
| 3.2 超小型悬挂式硅基微盘谐振器的设计 | 第51-60页 |
| 3.2.1 损耗及模式分析 | 第51-56页 |
| 3.2.2 传感灵敏度计算 | 第56-57页 |
| 3.2.3 耦合波导的设计 | 第57-60页 |
| 3.3 微盘谐振器器件加工 | 第60-70页 |
| 3.3.1 硅纳米线工艺简介 | 第60-64页 |
| 3.3.2 器件加工流程 | 第64-70页 |
| 3.4 超小型微盘谐振器传感测试 | 第70-76页 |
| 3.4.1 测试系统简介 | 第70-72页 |
| 3.4.2 传感测试 | 第72-76页 |
| 3.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 第四章 总结 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 作者简介 | 第85页 |
