| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第10-14页 |
| 1.1.1 技术需求 | 第10-13页 |
| 1.1.2 研究意义和目的 | 第13-14页 |
| 1.2 激光清洗国内外研究历史与现状 | 第14-18页 |
| 1.2.1 国外发展历程 | 第14-17页 |
| 1.2.2 国内激光清洗技术研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3 本论文的研究内容与结构安排 | 第18-19页 |
| 第二章 激光清洗光学元件表面污染物的理论基础 | 第19-36页 |
| 2.1 颗粒污染物与基片粘附力 | 第19-26页 |
| 2.1.1 范德华力 | 第19-22页 |
| 2.1.2 其它几种吸附力形式 | 第22-23页 |
| 2.1.3 颗粒的吸附形变 | 第23-26页 |
| 2.2 干式激光清洗的原理及其理论模型 | 第26-29页 |
| 2.2.1 干式激光清洗机理简介 | 第26-27页 |
| 2.2.2 干式激光清洗的理论模型 | 第27-29页 |
| 2.3 湿式激光清洗的原理及其理论模型 | 第29-31页 |
| 2.4 激光诱导等离子冲击波清洗的原理及其理论模型 | 第31-34页 |
| 2.4.1 激光等离子冲击波清洗的机理简介 | 第31页 |
| 2.4.2 激光等离子冲击波清洗的理论模型 | 第31-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 激光直接辐照清洗K9玻璃表面污染物 | 第36-45页 |
| 3.1 实验准备和操作 | 第36-37页 |
| 3.2 实验设备 | 第37-38页 |
| 3.3 355nm激光清洗K9表面灰尘和Al2O3 | 第38-44页 |
| 3.3.1 清洗前的检测效果 | 第39-41页 |
| 3.3.2 实验过程及结果 | 第41-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 激光诱导等离子体冲击波清洗K9玻璃表面污染物 | 第45-53页 |
| 4.1 实验操作 | 第45-46页 |
| 4.2 实验结果及分析 | 第46-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-53页 |
| 第五章 射频等离子清洗K9玻璃表面污染物 | 第53-64页 |
| 5.1 等离子清洗的基本原理 | 第53页 |
| 5.2 实验准备和操作 | 第53-56页 |
| 5.3 等离子清洗K9玻璃表面污染物 | 第56-62页 |
| 5.3.1 灰尘颗粒的清洗 | 第56-60页 |
| 5.3.2 机油清洗 | 第60-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第70-71页 |
