| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 多维力测量方法 | 第10-12页 |
| 1.3 压电式多维力传统测量方法 | 第12-15页 |
| 1.4 压电式多维力新测量方法 | 第15-17页 |
| 1.5 压电传感器力敏材料的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.6 主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 小工作空间压电式六维力传感器测量原理 | 第19-28页 |
| 2.1 支撑力受力分析 | 第19-20页 |
| 2.2 六维力作用下LGS晶片的力电转化规律分析 | 第20-27页 |
| 2.2.1 LGS压电晶体及其力电转化 | 第21-23页 |
| 2.2.2 X0o切型晶片晶面受力与电荷的映射关系 | 第23-25页 |
| 2.2.3 Y0o切型晶片晶面受力与电荷的映射关系 | 第25-27页 |
| 2.3 六维测力晶组设计 | 第27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 压电力测试系统 | 第28-46页 |
| 3.1 力传感器设计 | 第28-30页 |
| 3.1.1 晶组结构设计 | 第28-29页 |
| 3.1.2 传感器壳体设计 | 第29-30页 |
| 3.2 传感器预紧 | 第30-32页 |
| 3.2.1 传感器预紧方式选择 | 第30页 |
| 3.2.2 预紧部件定位、装配结构的设计 | 第30-32页 |
| 3.3 预紧螺栓刚度的确定 | 第32-41页 |
| 3.3.1 预紧后力传感器晶片受力分析 | 第33-37页 |
| 3.3.2 基于量程确定预紧螺栓刚度范围 | 第37-41页 |
| 3.4 仿真分析 | 第41-42页 |
| 3.4.1 模态分析 | 第41-42页 |
| 3.4.2 静力结构分析 | 第42页 |
| 3.5 信号采集系统的设计 | 第42-44页 |
| 3.6 压电力测试系统实物图 | 第44-45页 |
| 3.7 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 静动态标定实验 | 第46-78页 |
| 4.1 标定目的 | 第46页 |
| 4.2 静态标定 | 第46-63页 |
| 4.2.1 主要精度指标 | 第46页 |
| 4.2.2 归一化处理 | 第46-47页 |
| 4.2.3 标定方案 | 第47页 |
| 4.2.4 标定装置 | 第47-48页 |
| 4.2.5 静态力标定 | 第48-57页 |
| 4.2.6 静态力矩标定 | 第57-61页 |
| 4.2.7 相间干扰 | 第61页 |
| 4.2.8 相间干扰补偿 | 第61-63页 |
| 4.3 传感器静态标定分析 | 第63-74页 |
| 4.3.1 偏载实验 | 第63-65页 |
| 4.3.2 偏载对标定精度的影响规律分析 | 第65-69页 |
| 4.3.3 基于基尼系数的偏载程度判别方法 | 第69-71页 |
| 4.3.4 输出比例归一化法 | 第71-74页 |
| 4.4 力传感器分辨率测试 | 第74-75页 |
| 4.5 动态标定 | 第75-77页 |
| 4.6 本章小结 | 第77-78页 |
| 结论与展望 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 附录A 部分实物图 | 第83-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85页 |