线扫描光学相干显微（OCM）系统及应用研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 表面形貌测量 | 第13-15页 |
| 1.1.1 机械探针法 | 第13-14页 |
| 1.1.2 光学探针法 | 第14页 |
| 1.1.3 共焦显微法 | 第14-15页 |
| 1.1.4 干涉显微法 | 第15页 |
| 1.2 OCM技术发展概况 | 第15-18页 |
| 1.2.1 OCM技术简介 | 第15-17页 |
| 1.2.2 OCM研究的国内外现状 | 第17-18页 |
| 1.3 课题研究简介 | 第18-21页 |
| 1.3.1 课题研究的意义 | 第18-19页 |
| 1.3.2 课题研究的基础 | 第19页 |
| 1.3.3 论文内容安排 | 第19-21页 |
| 第二章 线扫描OCM系统的相关理论 | 第21-31页 |
| 2.1 OCM系统的理论分析 | 第21-24页 |
| 2.1.1 OCM系统理论基础 | 第21-22页 |
| 2.1.2 线扫描OCM系统的原理 | 第22-24页 |
| 2.2 线扫描OCM系统的性能参数 | 第24-29页 |
| 2.2.1 系统的轴向分辨率 | 第24-26页 |
| 2.2.2 系统的横向分辨率 | 第26-27页 |
| 2.2.3 系统的成像深度 | 第27页 |
| 2.2.4 系统的成像速度 | 第27-28页 |
| 2.2.5 系统的信噪比与灵敏度 | 第28-29页 |
| 2.3 光学系统光能的损失 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 线扫描OCM系统的设计 | 第31-46页 |
| 3.1 线扫描OCM系统模型 | 第31-41页 |
| 3.1.1 光源及光纤耦合器的选择 | 第31-32页 |
| 3.1.2 显微物镜的选择 | 第32-34页 |
| 3.1.3 样品臂的设计 | 第34-36页 |
| 3.1.4 光谱仪的设计 | 第36-41页 |
| 3.2 软件部分设计 | 第41-43页 |
| 3.2.1 软件开发流程简介 | 第41页 |
| 3.2.2 信号储存模块与处理模块设计 | 第41-43页 |
| 3.3 实验系统搭建与调节步骤 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 成像实验与分析 | 第46-61页 |
| 4.1 系统性能测试 | 第46-51页 |
| 4.1.1 样品臂光衰减度测试 | 第46-47页 |
| 4.1.2 横向分辨率测定 | 第47-49页 |
| 4.1.3 轴向分辨率测定 | 第49-50页 |
| 4.1.4 成像范围和速度测定 | 第50-51页 |
| 4.2 光纤样品验证实验 | 第51-53页 |
| 4.3 微结构表面三维重构 | 第53-60页 |
| 4.3.1 表面三维形貌重构 | 第54-55页 |
| 4.3.2 三维形貌成像实验 | 第55-58页 |
| 4.3.3 测量精度分析 | 第58-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 论文的工作总结 | 第61-62页 |
| 5.2 后续工作的设想 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第68页 |
