| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 紫外探测器的分类 | 第14-17页 |
| 1.3 紫外探测器性能指标 | 第17-18页 |
| 1.4 宽禁带半导体紫外探测器概述 | 第18-24页 |
| 1.4.1 无机宽禁带半导体紫外探测器的进展 | 第19-23页 |
| 1.4.2 有机/无机杂化紫外探测器的进展 | 第23-24页 |
| 1.5 本论文的主要内容 | 第24-27页 |
| 第二章 TiO_2基 MSM 型紫外探测器的数值分析 | 第27-46页 |
| 2.1 MSM-PD 的电流传输机制 | 第28-33页 |
| 2.1.1 MSM-PD 的器件结构 | 第28页 |
| 2.1.2 对称型 MSM-PD 的工作原理 | 第28-30页 |
| 2.1.3 MSM-PD 的直流特性分析 | 第30-33页 |
| 2.2 MSM-PD 的稳态响应及优化 | 第33-41页 |
| 2.2.1 暗电流特性分析 | 第33-35页 |
| 2.2.2 器件面积的优化 | 第35页 |
| 2.2.3 光电流特性分析 | 第35-36页 |
| 2.2.4 有源层厚度的选择与优化 | 第36-38页 |
| 2.2.5 叉指电极结构选择与优化 | 第38-39页 |
| 2.2.6 器件结构对响应度的影响 | 第39页 |
| 2.2.7 直流特性分析 | 第39-41页 |
| 2.3 MSM-PD 的瞬态分析及优化 | 第41-44页 |
| 2.3.1 势垒电容 | 第41-42页 |
| 2.3.2 响应时间 | 第42-44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 第三章 钙钛矿材料紫外光电探测器的制作与测试 | 第46-85页 |
| 3.1 MSM 型 SrZr_(0.1)Ti_(0.9)O_3基紫外光电探测器 | 第46-62页 |
| 3.1.1 钙钛矿材料 SrTiO_3 | 第46-48页 |
| 3.1.2 纳米薄膜制备方法简介 | 第48-49页 |
| 3.1.3 SrZr_(0.1)Ti_(0.9)O_3纳米薄膜的制备 | 第49-51页 |
| 3.1.4 SrZr_(0.1)Ti_(0.9)O_3纳米薄膜的表征 | 第51-56页 |
| 3.1.5 SrZr_(0.1)Ti_(0.9)O_3基紫外光电探测器的制作 | 第56-59页 |
| 3.1.6 器件性能测试 | 第59-62页 |
| 3.2 HMSM 型 TiO_2/SrTiO_3基紫外光电探测器 | 第62-69页 |
| 3.2.1 TiO_2溶胶的制备 | 第62-63页 |
| 3.2.2 TiO_2纳米薄膜的制备 | 第63-64页 |
| 3.2.3 TiO_2纳米薄膜的表征 | 第64页 |
| 3.2.4 TiO_2/SrTiO_3基紫外光电探测器的制作 | 第64-65页 |
| 3.2.5 器件性能测试 | 第65-69页 |
| 3.3 NaTaO_3晶体的合成及其紫外光电性能研究 | 第69-79页 |
| 3.3.1 钙钛矿材料 NaTaO_3 | 第69-70页 |
| 3.3.2 NaTaO_3薄膜的制备 | 第70页 |
| 3.3.3 NaTaO_3薄膜的表征 | 第70-73页 |
| 3.3.4 MSM 型 NaTaO_3基紫外光电探测器的制作 | 第73-74页 |
| 3.3.5 器件性能测试 | 第74-79页 |
| 3.4 MSM 型 LaAlO_3基日盲紫外光电探测器 | 第79-82页 |
| 3.4.1 钙钛矿材料 LaAlO_3 | 第79页 |
| 3.4.2 LaAlO_3衬底的表征 | 第79-80页 |
| 3.4.3 LaAlO_3基紫外光电探测器的制作 | 第80页 |
| 3.4.4 器件性能测试 | 第80-82页 |
| 3.5 本章小结 | 第82-85页 |
| 第四章 Zr_(0.5)Ti_(0.5)O_2及 TiO_2/PFH 基紫外探测器的制作与测试 | 第85-99页 |
| 4.1 Zr_(0.5)Ti_(0.5)O_2基日盲型紫外探测器 | 第85-92页 |
| 4.1.1 Zr_(0.5)Ti_(0.5)O_2的晶体结构 | 第85页 |
| 4.1.2 Zr_(0.5)Ti_(0.5)O_2纳米薄膜的制备及表征 | 第85-87页 |
| 4.1.3 Zr_(0.5)Ti_(0.5)O_2基日盲型紫外探测器的制作及性能测试 | 第87-92页 |
| 4.2 TiO_2纳米线/PFH 有机/无机杂化紫外光电探测器 | 第92-98页 |
| 4.2.1 TiO_2纳米线阵列的制备 | 第92-93页 |
| 4.2.2 TiO_2纳米线阵列及有机聚合物 PFH 的表征 | 第93-95页 |
| 4.2.3 异质结型 TiO_2/PFH 紫外光电探测器的制作 | 第95-96页 |
| 4.2.4 器件性能测试 | 第96-98页 |
| 4.3 本章小结 | 第98-99页 |
| 第五章 总结 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-112页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第112-113页 |
| 致谢 | 第113页 |
