| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 硅基集成光子学的发展 | 第9-10页 |
| 1.3 一维光子晶体微腔的研究现状 | 第10-13页 |
| 1.4 本文主要完成的工作 | 第13-15页 |
| 2 一维光子晶体波导微腔的相关理论 | 第15-28页 |
| 2.1 光波导理论及方法 | 第15-18页 |
| 2.2 一维光子晶体微腔基本理论 | 第18-23页 |
| 2.3 一维光子晶体微腔的耦合模理论 | 第23-26页 |
| 2.4 数值计算方法 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 硅基一维光子晶体条形波导微腔及其滤波应用 | 第28-43页 |
| 3.1 高Q值一维光子晶体条形波导微腔的设计 | 第28-30页 |
| 3.2 一维光子晶体波导微腔的模拟仿真 | 第30-32页 |
| 3.3 硅基光器件的工艺制备流程 | 第32-35页 |
| 3.4 硅基一维光子晶体条形波导微腔的工艺制备和测试 | 第35-39页 |
| 3.5 可调谐法诺（Fano）滤波谱型 | 第39-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-43页 |
| 4 硅基一维光子晶体狭缝波导微腔及其传感应用 | 第43-56页 |
| 4.1 一维光子晶体狭缝纳米梁微腔的设计 | 第43-45页 |
| 4.2 高Q值和高灵敏度的模拟优化和分析 | 第45-48页 |
| 4.3 一维狭缝纳米梁微腔用于实现高FOM折射率传感 | 第48-50页 |
| 4.4 一维光子晶体SOI狭缝波导椭圆孔微腔 | 第50-52页 |
| 4.5 实验工艺制备和测试 | 第52-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 总结与展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第64页 |