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水性丙烯酸光致抗蚀干膜的合成

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-12页
第一章 绪论第12-28页
   ·引言第12-13页
   ·紫外光固化涂料的发展现状与趋势第13-14页
     ·发展现状第13页
     ·发展趋势第13-14页
   ·紫外光固化反应机理第14-16页
   ·紫外光固化涂料研究进展第16-22页
     ·感光树脂的研究进展第16-19页
     ·光引发剂的研究进展第19-21页
     ·活性稀释剂(活性单体)的研究进展第21-22页
   ·光致抗蚀干膜的基本组成第22-26页
     ·感光树脂第23-24页
     ·活性单体第24-25页
     ·光引发剂第25-26页
   ·本课题研究意义、内容及创新点第26-28页
     ·课题的研究意义第26页
     ·本课题的研究内容第26-27页
     ·本课题的创新点第27-28页
第二章 水溶性丙烯酸酯感光树脂的合成与结构表征第28-56页
   ·前言第28页
   ·丙烯酸树脂合成反应动力学第28-30页
     ·三元共聚原理第28-29页
     ·共聚物组成的估算第29-30页
   ·实验部分第30-34页
     ·原料与试剂第30-31页
     ·设备与仪器第31页
     ·合成路线第31-32页
     ·合成步骤第32页
     ·测试表征第32-34页
   ·结果与讨论第34-51页
     ·丙烯酸树脂合成基本配方及工艺条件的确定第34-39页
     ·引发剂用量对树脂的影响第39-41页
     ·单体投料比对树脂的影响第41-45页
     ·HEMA 对树脂的影响第45-48页
     ·正交实验第48-51页
   ·结构与表征第51-54页
     ·红外光谱分析第51-52页
     ·GPC 测试分析第52-53页
     ·热重分析第53-54页
   ·本章小结第54-56页
第三章 环氧丙烯酸酯类感光树脂的合成与结构表征第56-71页
   ·前言第56页
   ·实验部分第56-60页
     ·实验装置第56-57页
     ·实验原理第57页
     ·合成步骤第57-58页
     ·测试表征第58-60页
   ·EA 合成工艺条件的确定第60-63页
     ·温度对反应的影响第60页
     ·催化剂种类对反应的影响第60-61页
     ·催化剂用量对反应的影响第61-62页
     ·投料配比对反应的影响第62-63页
     ·溶剂对反应的影响第63页
   ·EB 合成工艺条件的确定第63-68页
     ·反应温度对MA 转化率的影响第63-64页
     ·催化剂种类对MA 转化率的影响第64-65页
     ·催化剂用量对MA 转化率的影响第65页
     ·MA 用量对EB 水溶性的影响第65-66页
     ·MA 对 UV 固化膜性能的影响第66-68页
   ·结构与表征第68-70页
     ·红外光谱分析第68-69页
     ·TG 热重分析第69-70页
   ·本章小结第70-71页
第四章 UV 光致抗蚀干膜的合成第71-92页
   ·前言第71页
   ·实验部分第71-75页
     ·实验原理第71-72页
     ·实验原料第72页
     ·实验仪器第72-73页
     ·测试表征第73-75页
   ·结果与分析第75-89页
     ·光引发剂对固化速率的影响第75-77页
     ·活性单体含量对固化速率的影响第77-78页
     ·光引发剂对凝胶含量的影响第78-80页
     ·活性单体对凝胶含量的影响第80-81页
     ·涂层厚度对凝胶含量的影响第81-82页
     ·光引发剂对固化膜Na_2C0_3 水溶液溶解性的影响第82-84页
     ·活性单体对固化膜Na_2C0_3 水溶液溶解性的影响第84-85页
     ·光引发剂对固化膜摆杆硬度的影响第85-87页
     ·活性单体对固化膜摆杆硬度的影响第87-88页
     ·耐酸碱性测试第88-89页
   ·结构与表征第89-91页
     ·红外光谱分析第89页
     ·GPC 分析第89-90页
     ·热重分析第90-91页
   ·本章小结第91-92页
结论第92-94页
参考文献第94-99页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第99-100页
致谢第100-101页
附件第101页

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