| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 微尺度下的驱动技术 | 第10-15页 |
| 1.2.1 磁驱动技术 | 第10-11页 |
| 1.2.2 电驱动技术 | 第11-12页 |
| 1.2.3 光驱动技术 | 第12-13页 |
| 1.2.4 化学驱动技术 | 第13-14页 |
| 1.2.5 流体驱动技术 | 第14-15页 |
| 1.3 微细加工技术 | 第15-20页 |
| 1.3.1 硅微加工技术 | 第15-16页 |
| 1.3.2 LIGA技术 | 第16页 |
| 1.3.3 灰度光刻技术 | 第16-17页 |
| 1.3.4 微立体光刻技术 | 第17-18页 |
| 1.3.5 双光子聚合技术 | 第18-20页 |
| 1.4 本文研究目的及研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 微涡轮结构的设计及加工前的准备 | 第21-24页 |
| 2.1 微涡轮结构设计软件简介 | 第21-22页 |
| 2.2 光刻胶的制备 | 第22-23页 |
| 2.3 微涡轮的流体驱动方式 | 第23-24页 |
| 第三章 微涡轮结构的制备与旋转性能测试 | 第24-42页 |
| 3.1 飞秒激光加工技术简介 | 第24-25页 |
| 3.2 微涡轮结构的制备过程 | 第25-26页 |
| 3.3 微涡轮结构的旋转性能测试 | 第26-38页 |
| 3.3.1 流体流速对微涡轮转速的影响 | 第26-30页 |
| 3.3.2 微涡轮结构的能量转换效率 | 第30-31页 |
| 3.3.3 微涡轮结构的旋转方向与叶片偏转方向的关系 | 第31-32页 |
| 3.3.4 微涡轮叶片偏转角度对微涡轮转速的影响 | 第32-34页 |
| 3.3.5 微涡轮叶片长度对微涡轮转速的影响 | 第34-36页 |
| 3.3.6 微涡轮叶片数量对微涡轮转速的影响 | 第36-38页 |
| 3.4 双涡轮系统的制备 | 第38-41页 |
| 3.5 本章总结 | 第41-42页 |
| 第四章 微涡轮结构用于微通道内的流体检测 | 第42-51页 |
| 4.1 研究背景及实验方法简介 | 第42页 |
| 4.2 SU-8 微通道的制备 | 第42-44页 |
| 4.3 微通道内微涡轮结构的制备及封装 | 第44-45页 |
| 4.4 通道内微涡轮结构的旋转性能测试 | 第45-48页 |
| 4.5 原理性研究 | 第48-49页 |
| 4.6 本章总结 | 第49-51页 |
| 总结及展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-57页 |
| 作者简介及攻读硕士期间研究成果 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |