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金属氧化物半导体氧传感器与氮氧化物传感器的制备与工业化探索

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
1 前言第10-21页
    1.1 研究背景第10-14页
    1.2 研究思路第14-19页
    1.3 气体传感器的性能指标第19-20页
    1.4 本研究的目的和内容第20-21页
2 STF35氧传感器第21-42页
    2.1 引言第21-23页
    2.2 钛酸锶材料简介第23-27页
    2.3 STF35氧传感器制备方案第27-29页
    2.4 实验过程第29-31页
    2.5 实验结果及讨论第31-41页
    2.6 总结第41-42页
3 荷花花粉模板法制备纳米三氧化钨氮氧化物传感器第42-53页
    3.1 引言第42-43页
    3.2 实验前期准备第43-44页
    3.3 实验过程第44-46页
    3.4 实验结果及讨论第46-52页
    3.5 总结第52-53页
4 WO_3/SnO_2叠层膜氮氧化物传感器第53-65页
    4.1 引言第53-54页
    4.2 WO_3材料简介第54-55页
    4.3 WO_3/Sn O_2双层结构氮氧化物传感器第55-58页
    4.4 实验过程第58-60页
    4.5 实验结果及讨论第60-64页
    4.6 总结第64-65页
5 气敏传感器的工业化探索第65-104页
    5.1 引言第65页
    5.2 实验室原型器件批量性能测试第65-68页
    5.3 氧传感器的批量制备第68-75页
    5.4 设计优化第75-90页
    5.5 优化后的工艺过程第90-100页
    5.6 氮氧化物传感器的工业化探索第100-103页
    5.7 总结第103-104页
6 结论第104-106页
致谢第106-107页
参考文献第107-114页
附录 攻读硕士学位期间发表的论文第114页

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