| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·MEMS汽车传感器国内外发展现状 | 第13-14页 |
| ·MEMS汽车传感器的分类 | 第14-16页 |
| ·几种典型的MEMS汽车传感器 | 第16-21页 |
| ·MEMS汽车传感器的制作工艺和加工技术 | 第21-25页 |
| ·MEMS汽车传感器的发展趋势 | 第25页 |
| ·论文研究内容 | 第25-28页 |
| 第2章 MEMS系统设计基本理论 | 第28-37页 |
| ·MEMS设计技术现状 | 第28-30页 |
| ·MEMS设计方法 | 第30-32页 |
| ·MEMS设计流程 | 第32-34页 |
| ·MEMS设计关键技术 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 MEMS汽车传感器的智能集成设计和可靠性研究 | 第37-51页 |
| ·MEMS汽车传感器的智能集成设计 | 第37-43页 |
| ·基于阶段主导可靠性因素的汽车MEMS传感器可靠性设计 | 第43-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 MEMS的多域耦合分析与仿真 | 第51-68页 |
| ·MEMS的多域耦合特性 | 第51-56页 |
| ·器件级模拟与耦合场分析 | 第56-57页 |
| ·宏模型与系统级模拟 | 第57-58页 |
| ·梳齿状微谐振器多域耦合分析与仿真 | 第58-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 面向MEMS的多学科优化设计和算法 | 第68-90页 |
| ·MEMS的多学科特性 | 第68-70页 |
| ·多学科优化设计概念 | 第70-72页 |
| ·多学科优化设计的特点 | 第72-73页 |
| ·多学科优化设计框架模型 | 第73-76页 |
| ·面向MEMS的多学科设计优化基本思路 | 第76-77页 |
| ·多学科优化设计算法 | 第77-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第6章 MEMS加速度计设计与优化 | 第90-140页 |
| ·MEMS加速度计概述 | 第90-92页 |
| ·梳齿式MEMS加速度计工作原理 | 第92-95页 |
| ·梳齿式MEMS加速度计设计分析 | 第95-107页 |
| ·梳齿式MEMS加速度计多学科优化模型的建立 | 第107-127页 |
| ·梳齿式MEMS加速度计优化算法的实现 | 第127-134页 |
| ·梳齿式MEMS加速度计优化设计结果比较分析 | 第134-139页 |
| ·本章小结 | 第139-140页 |
| 第7章 总结与展望 | 第140-143页 |
| ·总结 | 第140-142页 |
| ·展望 | 第142-143页 |
| 参考文献 | 第143-153页 |
| 致谢 | 第153-154页 |
| 作者攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第154-155页 |