| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 微流控芯片的背景 | 第9-12页 |
| 1.2 国内外关于流体流速测量的研究动态 | 第12-15页 |
| 1.3 本论文的研究思路及论文研究的创新点 | 第15-16页 |
| 1.3.1 本论文的研究思路 | 第15页 |
| 1.3.2 本论文的创新内容 | 第15-16页 |
| 1.4 本章小结 | 第16-17页 |
| 2 超微量液体流速测量系统的整体设计 | 第17-21页 |
| 2.1 超微量液体流速测量系统的设计目标 | 第17页 |
| 2.2 超微量液体流速测量系统的整体实现方法 | 第17-20页 |
| 2.2.1 超微量液体流速测量系统的硬件电路设计方案 | 第18-19页 |
| 2.2.2 超微量液体流速测量系统的流速测量芯片的设计方案 | 第19-20页 |
| 2.2.3 超微量液体流速测量系统的软件设计方案 | 第20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-21页 |
| 3 超微量液体流速测量系统的芯片设计及制备 | 第21-29页 |
| 3.1 超微量流速测量芯片的测量实现 | 第21页 |
| 3.2 超微量流速测量芯片的设计 | 第21-23页 |
| 3.3 超微量流速测量芯片的制备及键合 | 第23-28页 |
| 3.3.1 芯片制作 | 第24-27页 |
| 3.3.2 芯片键合 | 第27-28页 |
| 3.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 4 超微量液体流速测量系统的硬件设计 | 第29-40页 |
| 4.1 系统硬件方案详述 | 第29-30页 |
| 4.2 ARM硬件平台及其简述 | 第30-33页 |
| 4.3 系统硬件电路设计详述 | 第33-39页 |
| 4.3.1 系统供电电源的模块设计 | 第33页 |
| 4.3.2 电机选型及控制电路模块 | 第33-36页 |
| 4.3.3 通讯模块设计 | 第36-37页 |
| 4.3.4 气阀及气泵的控制 | 第37-39页 |
| 4.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 5 超微量液体流速测量系统的软件设计 | 第40-48页 |
| 5.1 编译开发平台的软件介绍 | 第40页 |
| 5.2 芯片STM32F107的编程简述 | 第40-42页 |
| 5.3 DA数模转换控制 | 第42-44页 |
| 5.4 系统的通信设计 | 第44-47页 |
| 5.5 本章总结 | 第47-48页 |
| 6 系统的运行调试及实验 | 第48-53页 |
| 6.1 系统核心部分的实物图及搭建 | 第48-49页 |
| 6.1.1 系统硬件主控电路板 | 第48页 |
| 6.1.2 系统核心测量芯片部件及气路部分 | 第48-49页 |
| 6.2 系统软件调试 | 第49-51页 |
| 6.3 系统进行流速测量实验 | 第51-52页 |
| 6.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 7 总结及展望 | 第53-55页 |
| 7.1 总结 | 第53-54页 |
| 7.2 展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 附录 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |