| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 气体传感器 | 第10-12页 |
| 1.2.1 气体传感器的定义与分类 | 第10-11页 |
| 1.2.2 气体传感器的应用 | 第11-12页 |
| 1.3 半导体气体传感器 | 第12-15页 |
| 1.3.1 半导体气体传感器的分类 | 第12-14页 |
| 1.3.2 电阻型气体传感器的性能指标 | 第14-15页 |
| 1.4 常见半导体金属氧化物气体传感器 | 第15-23页 |
| 1.4.1 ZnO气体传感器 | 第15-16页 |
| 1.4.2 WO_3气体传感器 | 第16-17页 |
| 1.4.3 In_2O_3气体传感器 | 第17-23页 |
| 1.5 本论文的研究意义与内容 | 第23-26页 |
| 1.5.1 研究意义 | 第23页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第23-26页 |
| 第二章 In_2O_3微结构的制备及气敏特性 | 第26-36页 |
| 2.1 引言 | 第26页 |
| 2.2 In_2O_3微结构的制备与表征 | 第26-30页 |
| 2.2.1 实验试剂及仪器 | 第26-27页 |
| 2.2.2 表征分析方法 | 第27-28页 |
| 2.2.3 传感器的制作与测试 | 第28-30页 |
| 2.3 空心In_2O_3微球的制备及气敏特性研究 | 第30-34页 |
| 2.3.1 空心In_2O_3微球的制备与表征 | 第30-31页 |
| 2.3.2 空心In_2O_3微球的气敏特性研究 | 第31-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 花状Au/In_2O_3微结构的制备及气敏特性 | 第36-44页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 花状Au/In_2O_3微结构的制备与表征 | 第36-38页 |
| 3.2.1 花状Au/In_2O_3微结构的制备 | 第36-37页 |
| 3.2.2 花状Au/In_2O_3微结构的表征 | 第37-38页 |
| 3.3 花状Au/In_2O_3微结构的气敏特性研究 | 第38-42页 |
| 3.4 花状Au/In_2O_3的气敏机理研究 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 花状Mo/In_2O_3微结构的制备及气敏特性 | 第44-60页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 花状Mo/In_2O_3微结构的制备与表征 | 第44-49页 |
| 4.2.1 花状Mo/In_2O_3微结构的制备 | 第44-45页 |
| 4.2.2 花状Mo/In_2O_3微结构的表征 | 第45-49页 |
| 4.3 花状Mo/In_2O_3微结构的气敏特性研究 | 第49-56页 |
| 4.4 花状Mo/In_2O_3的气敏机理研究 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-64页 |
| 5.1 工作总结 | 第60-61页 |
| 5.2 工作展望 | 第61-64页 |
| 参考文献 | 第64-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 硕士期间主要发表论文 | 第76页 |
