| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| 1.1 论文研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 纳米控位移定位平台的国内外发展现状 | 第12-13页 |
| 1.3 纳米位移定位平台控制技术的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.4 本文研究的主要内容以及结构安排 | 第14-15页 |
| 第二章 纳米位移定位平台模型的建立 | 第15-23页 |
| 2.1 纳米位移定位平台的构成及特性 | 第15-16页 |
| 2.1.1 纳米位移定位平台的构成 | 第15页 |
| 2.1.2 纳米位移定位平台的特性 | 第15-16页 |
| 2.2 纳米位移定位平台的建模方法 | 第16-18页 |
| 2.2.1 机理分析建模 | 第17页 |
| 2.2.2 系统辨识建模 | 第17-18页 |
| 2.2.3 机理分析和系统辨识相结合的建模 | 第18页 |
| 2.3 纳米位移定位平台模型的建立 | 第18-22页 |
| 2.3.1 纳米位移定位平台的迟滞模型 | 第18-19页 |
| 2.3.2 纳米位移定位平台的线性动态模型 | 第19-20页 |
| 2.3.3 纳米位移定位平台的动态迟滞模型 | 第20-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 纳米位移定位平台控制方法的研究 | 第23-37页 |
| 3.1 引言 | 第23-24页 |
| 3.1.1 开环控制 | 第23页 |
| 3.1.2 闭环控制 | 第23-24页 |
| 3.2 传统PID算法的研究 | 第24-30页 |
| 3.2.1 传统PID算法原理 | 第24-27页 |
| 3.2.2 传统PID控制器参数的整定方法 | 第27-28页 |
| 3.2.3 纳米位移定位平台PID控制系统仿真 | 第28-30页 |
| 3.3 自适应控制算法的研究 | 第30-34页 |
| 3.3.1 纳米位移定位平台的自校正PID控制 | 第30-31页 |
| 3.3.2 模型参数辨识 | 第31-33页 |
| 3.3.3 控制器参数计算 | 第33页 |
| 3.3.4 纳米位移定位平台系统的自校正PID控制算法仿真 | 第33-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-37页 |
| 第四章 基于FPGA的PID控制器的设计 | 第37-49页 |
| 4.1 FPGA简介 | 第37-42页 |
| 4.1.1 FPGA的发展历史及趋势 | 第37-39页 |
| 4.1.2 FPGA的基本构成及特点 | 第39-42页 |
| 4.2 FPGA的开发流程及工具 | 第42-44页 |
| 4.2.1 电路的设计与输入 | 第42页 |
| 4.2.2 综合 | 第42-43页 |
| 4.2.3 布局布线 | 第43页 |
| 4.2.4 时序仿真 | 第43页 |
| 4.2.5 调试与配置 | 第43-44页 |
| 4.3 控制器各模块的设计及仿真 | 第44-46页 |
| 4.3.1 偏差模块 | 第44-45页 |
| 4.3.2 比例模块 | 第45页 |
| 4.3.3 积分模块 | 第45-46页 |
| 4.3.4 微分模块 | 第46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-49页 |
| 第五章 联合仿真 | 第49-51页 |
| 5.1 联合仿真示意图 | 第49页 |
| 5.2 仿真结果 | 第49-50页 |
| 5.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第六章 结论与展望 | 第51-53页 |
| 6.1 结论 | 第51页 |
| 6.2 展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 作者简介 | 第55页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |