| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第16-25页 |
| 1.1 引言 | 第16-18页 |
| 1.2 课题来源 | 第18页 |
| 1.3 该课题的国内外的概况 | 第18-23页 |
| 1.3.1 光栅刻划机的发展状况 | 第18-20页 |
| 1.3.2 隔振技术的发展 | 第20-21页 |
| 1.3.3 微振动简介 | 第21-23页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 环境振动因素模型 | 第25-36页 |
| 2.1 环境振动因素 | 第25-27页 |
| 2.1.2 光栅刻划机的结构及环境 | 第27页 |
| 2.2 光栅刻划机实验室气流组织模型 | 第27-32页 |
| 2.2.1 实验室内气流场的数学模型 | 第28-29页 |
| 2.2.2 光栅刻划机实验室CFD模型建立 | 第29-32页 |
| 2.3 人行激励模型 | 第32-34页 |
| 2.3.1 单人行走模型 | 第33-34页 |
| 2.3.2 多人行走数学模型 | 第34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 隔振平台理论化模型的建立 | 第36-47页 |
| 3.1 环境振动控制理论 | 第36页 |
| 3.2 隔振方法理论综述 | 第36-38页 |
| 3.2.1 被动隔振 | 第36-37页 |
| 3.2.2 主动隔振 | 第37页 |
| 3.2.3 混合隔振 | 第37-38页 |
| 3.2.3.1 致动器简介 | 第38页 |
| 3.3 微振动被动隔振离散化结构模型 | 第38-40页 |
| 3.4 微振动隔振平台固连结构模型建立 | 第40-45页 |
| 3.4.1 两种隔振平台结构位移响应仿真 | 第44-45页 |
| 3.5 文章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 在环境振动载荷下隔振平台的振动研究 | 第47-60页 |
| 4.1 振动的模态定义 | 第47-48页 |
| 4.2 隔振平台的模态分析 | 第48-52页 |
| 4.3 基于环境振动因素下的振动分析 | 第52-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 基于U-K理论的固连结构的动力学分析 | 第60-77页 |
| 5.1 振动基本动力学研究 | 第60-61页 |
| 5.2 Udwadia_Kalaba理论 | 第61-63页 |
| 5.2.1 约束跟踪控制方程 | 第62-63页 |
| 5.3 环境振动下微振动隔振平台的模型建立 | 第63-65页 |
| 5.4 光栅刻划机隔振平台的数学模型 | 第65-76页 |
| 5.4.1 固连结构式微制造振动平台的系统约束模型 | 第68-70页 |
| 5.4.2 仿真试验与结果分析 | 第70-76页 |
| 5.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 总结与展望 | 第77-79页 |
| 6.1 论文总结 | 第77-78页 |
| 6.2 研究展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第83-84页 |