| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·拼接对准检测技术的发展 | 第10-17页 |
| ·子镜拼接技术的发展 | 第10-12页 |
| ·拼接对准检测技术的国内外发展现状 | 第12-17页 |
| ·课题研究目的和意义 | 第17页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 菲涅尔尔透镜拼拼接误差差对成像质质量影响响分析 | 第19-31页 |
| ·Z轴平移误差 | 第20-22页 |
| ·XX/Y 轴平移误差 | 第22-24页 |
| ·X/Y 轴倾斜误差 | 第24-26页 |
| ·ZEMAX仿真验证 | 第26-28页 |
| ·误差分配 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 拼接对准检测技术 | 第31-45页 |
| ·平面镜自准直干涉拼接对准检测原理 | 第31-33页 |
| ·拼接子镜误差与校准干涉图像的关系 | 第33-35页 |
| ·计算机辅助装调技术 | 第35-41页 |
| ·计算机辅助装调理论 | 第35-37页 |
| ·失调量的求解 | 第37-38页 |
| ·计算机辅助装调仿真实验 | 第38-40页 |
| ·计算机辅助装调仿真结果 | 第40-41页 |
| ·基于反射全息对准标记的干涉检测技术 | 第41-43页 |
| ·基于反射全息对准标记的干涉检测技术原理 | 第41-43页 |
| ·反射对准全息的设计 | 第43页 |
| ·基于反射全息对准标记干涉检测技术的检测精度 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 拼接对准检测实验及误差分析 | 第45-61页 |
| ·拼接菲涅尔透镜的设计参数与加工 | 第45-46页 |
| ·平面镜自准直干涉检测拼接菲涅尔透镜 | 第46-50页 |
| ·计算机辅助装调实验 | 第50-56页 |
| ·灵敏度矩阵的求取 | 第50-54页 |
| ·计算机辅助装调验证 | 第54-56页 |
| ·实验误差分析 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·主要工作 | 第61页 |
| ·论文创新点 | 第61-62页 |
| ·论文工作不足 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第6页 |