大口径凸抛物面的检测技术研究
致谢 | 第1-4页 |
摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5-7页 |
目录 | 第7-9页 |
第一章 绪论 | 第9-17页 |
·研究背景及意义 | 第9-10页 |
·国内外研究现状 | 第10-15页 |
·国外研究现状 | 第10-13页 |
·国内研究现状 | 第13-15页 |
·论文主要研究内容 | 第15-17页 |
第二章 大口径凸非球面的检测方法 | 第17-25页 |
·非球面的重要性质 | 第17-19页 |
·非球面定义 | 第17-18页 |
·纵向法线象差 | 第18页 |
·非球面度 | 第18-19页 |
·大口径凸非球面检测技术 | 第19-22页 |
·无像差点法 | 第20页 |
·光学补偿法 | 第20-21页 |
·计算全息法 | 第21-22页 |
·子孔径拼接法 | 第22页 |
·课题凸抛物面检测方法的选定 | 第22-23页 |
·本章小结 | 第23-25页 |
第三章 非球面样板法 | 第25-31页 |
·检测光路与原理 | 第25-26页 |
·非球面样板的设计 | 第26-30页 |
·本章小结 | 第30-31页 |
第四章 用计算全息法标定实验系统误差 | 第31-43页 |
·计算全息(CGH)的几个重要参数 | 第31-36页 |
·衍射效率 | 第31-32页 |
·衍射级次与占宽比 | 第32-34页 |
·刻蚀深度 | 第34-35页 |
·相位函数 | 第35-36页 |
·标校原理 | 第36页 |
·标校全息的设计 | 第36-41页 |
·标校全息的制作 | 第41-42页 |
·本章小结 | 第42-43页 |
第五章 误差分析及实验 | 第43-55页 |
·误差分析 | 第43-49页 |
·非球面样板误差 | 第43-44页 |
·标校CGH误差 | 第44-47页 |
·调整误差 | 第47-49页 |
·其它误差 | 第49页 |
·实验 | 第49-53页 |
·计算全息标校实验系统误差实验 | 第49-52页 |
·凸抛物面检测实验 | 第52-53页 |
·本章小结 | 第53-55页 |
第六章 全文总结及研究展望 | 第55-58页 |
·论文取得的主要成果 | 第55-56页 |
·论文主要创新点 | 第56-57页 |
·研究展望 | 第57-58页 |
参考文献 | 第58-62页 |
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第62页 |