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基于层析成像法的亚表层损伤散射特性研究

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
1 绪论第8-17页
   ·研究背景和意义第8-10页
   ·国内外研究现状第10-14页
   ·研究的主要内容第14-17页
2 损伤缺陷散射的理论基础第17-30页
   ·测量系统简介第17-24页
     ·亚表层损伤散射第18-20页
     ·共焦系统的分辨能力第20-21页
     ·光的散射强度计算第21-24页
   ·计算方法比较第24-26页
   ·FDTD原理和几何-电磁建模第26-29页
   ·本章小结第29-30页
3 模型构建第30-42页
   ·散射条件假设第30-35页
     ·激励源影响第31-32页
     ·NA值的影响第32-33页
     ·波长影响第33-34页
     ·折射率影响第34-35页
   ·亚表面反射光功率第35-36页
   ·模型定义第36-41页
     ·测量扫描系统第36-38页
     ·测量模型第38-39页
     ·仿真模型第39-41页
   ·本章小结第41-42页
4 仿真实验第42-57页
   ·模拟计算软件第42页
   ·网格剖分第42-43页
   ·缺陷规格定义第43-45页
   ·模拟实验第45-55页
     ·常见缺陷散射模拟第45页
     ·纵深方向扫描第45-48页
     ·任意缺陷形状模拟第48-51页
     ·相对移动模拟第51-53页
     ·不同折射率影响第53-55页
     ·温度场变化的影响第55页
   ·本章小结第55-57页
5 结论第57-60页
   ·研究内容总结第57页
   ·工作展望第57-60页
参考文献第60-65页
攻读硕士学位期间发表的论文第65-66页
致谢第66-68页

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