基于层析成像法的亚表层损伤散射特性研究
摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-8页 |
1 绪论 | 第8-17页 |
·研究背景和意义 | 第8-10页 |
·国内外研究现状 | 第10-14页 |
·研究的主要内容 | 第14-17页 |
2 损伤缺陷散射的理论基础 | 第17-30页 |
·测量系统简介 | 第17-24页 |
·亚表层损伤散射 | 第18-20页 |
·共焦系统的分辨能力 | 第20-21页 |
·光的散射强度计算 | 第21-24页 |
·计算方法比较 | 第24-26页 |
·FDTD原理和几何-电磁建模 | 第26-29页 |
·本章小结 | 第29-30页 |
3 模型构建 | 第30-42页 |
·散射条件假设 | 第30-35页 |
·激励源影响 | 第31-32页 |
·NA值的影响 | 第32-33页 |
·波长影响 | 第33-34页 |
·折射率影响 | 第34-35页 |
·亚表面反射光功率 | 第35-36页 |
·模型定义 | 第36-41页 |
·测量扫描系统 | 第36-38页 |
·测量模型 | 第38-39页 |
·仿真模型 | 第39-41页 |
·本章小结 | 第41-42页 |
4 仿真实验 | 第42-57页 |
·模拟计算软件 | 第42页 |
·网格剖分 | 第42-43页 |
·缺陷规格定义 | 第43-45页 |
·模拟实验 | 第45-55页 |
·常见缺陷散射模拟 | 第45页 |
·纵深方向扫描 | 第45-48页 |
·任意缺陷形状模拟 | 第48-51页 |
·相对移动模拟 | 第51-53页 |
·不同折射率影响 | 第53-55页 |
·温度场变化的影响 | 第55页 |
·本章小结 | 第55-57页 |
5 结论 | 第57-60页 |
·研究内容总结 | 第57页 |
·工作展望 | 第57-60页 |
参考文献 | 第60-65页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-66页 |
致谢 | 第66-68页 |