数字莫尔技术用于测量薄膜厚度的研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 1 绪论 | 第7-10页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-9页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第9-10页 |
| 2 薄膜厚度测量的几种干涉术方法 | 第10-16页 |
| ·条纹法 | 第10-11页 |
| ·快速傅里叶变换法(FFT法) | 第11-13页 |
| ·相位偏移干涉法 | 第13-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 3 数字莫尔技术测量薄膜厚度原理 | 第16-22页 |
| ·莫尔技术 | 第16-17页 |
| ·莫尔条纹概述 | 第16-17页 |
| ·莫尔条纹测量技术 | 第17页 |
| ·数字莫尔技术测量薄膜厚度方法 | 第17-21页 |
| ·数字莫尔技术测量原理 | 第18-19页 |
| ·数字莫尔技术处理静态干涉图 | 第19-21页 |
| ·数字莫尔技术测量流程 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 4 数字莫尔技术测量薄膜厚度的关键技术 | 第22-41页 |
| ·四幅移相参考干涉图的生成 | 第22-24页 |
| ·待测干涉图载频的获取 | 第22页 |
| ·四幅移相参考干涉图的生成 | 第22-24页 |
| ·图像滤波提取莫尔信息 | 第24-31页 |
| ·莫尔条纹图的频谱分析 | 第24-26页 |
| ·莫尔条纹图信息的滤波提取 | 第26-27页 |
| ·窗函数法设计滤波器 | 第27-30页 |
| ·滤波程序的流程图 | 第30-31页 |
| ·相位解包 | 第31-39页 |
| ·相位解包的原理 | 第31-33页 |
| ·相位解包的基本方法 | 第33页 |
| ·相位解包的质量跟踪算法 | 第33-39页 |
| ·波面消倾斜 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 5 实验数据采集及分析处理 | 第41-52页 |
| ·薄膜样片的制备 | 第41-42页 |
| ·利用干涉仪获取待测干涉图 | 第42-44页 |
| ·干涉仪 | 第42-43页 |
| ·干涉图采集系统 | 第43-44页 |
| ·数字莫尔技术测量薄膜厚度结果及数据分析 | 第44-51页 |
| ·一号薄膜样片测量结果及数据分析 | 第44-48页 |
| ·二号薄膜样片测量结果及数据分析 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 6 结论 | 第52-54页 |
| ·全文总结 | 第52-53页 |
| ·下一步工作展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
