| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·论文的选题背景及其研究意义 | 第9页 |
| ·国内外切削测力仪研究现状 | 第9-13页 |
| ·薄膜制作方法及工艺 | 第13-15页 |
| ·直流磁控溅射法 | 第14页 |
| ·射频溅射法 | 第14页 |
| ·多弧离子镀 | 第14-15页 |
| ·本文研究的主要内容及组织结构 | 第15-17页 |
| 第2章 刀具嵌入式切削力测量用薄膜传感器系统的设计 | 第17-32页 |
| ·刀具嵌入式切削力测量用薄膜传感器的工作原理 | 第17-21页 |
| ·应变效应 | 第17-19页 |
| ·连续薄膜电导率及影响因素 | 第19-21页 |
| ·薄膜传感器电阻栅及传感器结构的设计 | 第21-31页 |
| ·薄膜电阻栅的设计 | 第21-27页 |
| ·Ni-Cr 薄膜电阻栅在 45 钢基片上的布置 | 第27-28页 |
| ·引线及封装的设计 | 第28-29页 |
| ·绝缘材料的选择与绝缘层结构的设计 | 第29-30页 |
| ·刀具—薄膜传感器整体系统的结构设计 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 刀具嵌入式薄膜传感器切削力测量的理论分析 | 第32-46页 |
| ·薄膜传感器电阻栅阻值改变量与电阻栅应变关系的理论分析 | 第32-35页 |
| ·电阻栅连接电桥及应变输出电压与关系的理论分析 | 第35-45页 |
| ·薄膜传感器电阻栅连接电桥 | 第35-37页 |
| ·刀尖受 Z 向力传感器的输出电压 | 第37-38页 |
| ·刀尖受 Y 向力时传感器的输出电压 | 第38-39页 |
| ·刀尖受 X 向力时传感器的输出电压 | 第39-40页 |
| ·4 个传感器的输出电压与受力关系的分析 | 第40-42页 |
| ·其它外圆车刀的受力与传感器输出电压的简单分析 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 测力薄膜传感器芯片应变及输出特性的模拟分析 | 第46-52页 |
| ·ANSYS 压阻分析的原理 | 第46-48页 |
| ·ANSYS 对模型的仿真分析 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 嵌入刀具的薄膜测力传感器的制备工艺 | 第52-61页 |
| ·工艺流程 | 第52-53页 |
| ·45 钢基片的制作 | 第53-54页 |
| ·双离子束溅射原理及具体过程 | 第54-56页 |
| ·膜厚监控方法 | 第55-56页 |
| ·镍铬合金薄膜的制备 | 第56-57页 |
| ·薄膜电阻栅的制作 | 第57-59页 |
| ·电极和保护层的制作 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第6章 总结 | 第61-63页 |
| ·论文的主要工作 | 第61-62页 |
| ·主要创新点 | 第62页 |
| ·展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
