二维宏微驱动平台及其去耦合技术研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 插图和附表清单 | 第9-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-24页 |
| ·研究背景及意义 | 第13-15页 |
| ·宏微平台的测量技术 | 第15-17页 |
| ·微驱动平台的减耦合设计 | 第17-19页 |
| ·宏微双驱动平台的去耦合技术 | 第19-22页 |
| ·宏微驱动平台的减耦合机械设计 | 第19-21页 |
| ·宏微驱动平台的去耦合控制策略 | 第21-22页 |
| ·论文主要研究内容 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第2章 二维微驱动平台的设计与分析 | 第24-48页 |
| ·二维微驱动平台的总体结构方案设计 | 第24-29页 |
| ·二维平面运动机构的组合方式选择 | 第24-25页 |
| ·驱动机构的选择 | 第25-26页 |
| ·放大机构的选则 | 第26-27页 |
| ·导向机构的选择 | 第27-29页 |
| ·二维微驱动平台的结构参数设计计算 | 第29-35页 |
| ·杠杆放大机构的设计计算 | 第30-31页 |
| ·柔性铰链的设计计算 | 第31-35页 |
| ·二维微驱动平台的ANSYS有限元仿真分析 | 第35-47页 |
| ·二维微纳定位平台静态分析 | 第36-40页 |
| ·二维微纳定位平台模态分析 | 第40-41页 |
| ·加工缺陷对耦合误差的影响 | 第41-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 微驱动平台系统的构建及性能测试 | 第48-81页 |
| ·二维微驱动平台系统的理论模型 | 第48-50页 |
| ·微驱动平台系统的构建 | 第50-57页 |
| ·微驱动平台系统的开环性能研究 | 第57-67页 |
| ·稳定性测试 | 第59页 |
| ·灵敏度测试 | 第59-60页 |
| ·X方向运动特性实验 | 第60-64页 |
| ·Y方向运动特性实验 | 第64-67页 |
| ·微驱动平台的系统辨识 | 第67-72页 |
| ·微驱动平台X方向的系统辨识 | 第69-70页 |
| ·微驱动平台Y方向的系统辨识 | 第70-72页 |
| ·微驱动平台的闭环去耦合控制 | 第72-80页 |
| ·微驱动平台X方向控制器设计及其系统仿真 | 第74-75页 |
| ·微驱动平台Y方向控制器设计及其系统仿真 | 第75页 |
| ·微驱动平台的闭环控制及去耦合实验 | 第75-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第4章 宏微双驱动平台系统的构建及去耦合技术 | 第81-92页 |
| ·宏微双驱动平台的控制方法研究 | 第81-83页 |
| ·宏微双驱动协调控制策略 | 第81-83页 |
| ·宏驱动平台定位精度测试 | 第83-87页 |
| ·宏微驱动平台的多点定位控制流程 | 第87-89页 |
| ·宏微驱动平台的多点定位及去耦合实验 | 第89-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第5章 结论与展望 | 第92-94页 |
| ·结论 | 第92-93页 |
| ·展望 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-97页 |
