基于激光平面干涉仪的平晶面形测量系统
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·研究背景意义 | 第8-9页 |
| ·平面度检定技术现状 | 第9-10页 |
| ·本论文主要的研究工作 | 第10-12页 |
| 2 平面度测量系统 | 第12-26页 |
| ·干涉原理及干涉仪 | 第12-17页 |
| ·干涉原理 | 第12-13页 |
| ·干涉仪的分类 | 第13-14页 |
| ·等倾和等厚干涉基本原理 | 第14-15页 |
| ·等厚干涉仪的分类 | 第15-17页 |
| ·平晶分类与检测 | 第17-20页 |
| ·平晶的定义 | 第17-18页 |
| ·性能要求 | 第18-20页 |
| ·常见的检定方法 | 第20-24页 |
| ·等厚法 | 第20-22页 |
| ·等倾法 | 第22-23页 |
| ·多面互检 | 第23-24页 |
| ·三种检定方法的对比 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 3 PJ15-J4型干涉仪的改进 | 第26-34页 |
| ·PG15-J4型等厚干涉仪的结构 | 第26-28页 |
| ·干涉仪系统参数 | 第26-27页 |
| ·相干光波的计算 | 第27-28页 |
| ·CCD相机 | 第28-31页 |
| ·CCD相机分类 | 第28-29页 |
| ·CCD图像测量技术 | 第29-30页 |
| ·DC130数字摄像机 | 第30-31页 |
| ·接收系统的改造 | 第31-33页 |
| ·激光扩束系统 | 第32页 |
| ·CCD镜头的计算与选择 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 干涉条纹的数字处理技术 | 第34-48页 |
| ·干涉图像预处理 | 第34-37页 |
| ·对比度线性展宽 | 第34-35页 |
| ·图像相减 | 第35-37页 |
| ·干涉图像的滤波 | 第37-39页 |
| ·线性滤波器 | 第37-38页 |
| ·非线性滤波器 | 第38-39页 |
| ·实例对比 | 第39页 |
| ·图像二值处理 | 第39-41页 |
| ·几种常见的二值化法 | 第39-41页 |
| ·实例对比 | 第41页 |
| ·开运算与闭运算 | 第41-43页 |
| ·图像的细化处理 | 第43-46页 |
| ·细化算法原理 | 第43-46页 |
| ·仿真实现 | 第46页 |
| ·条纹的修正和标记 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 测量结果及数据处理 | 第48-57页 |
| ·面形偏差的指标 | 第48-51页 |
| ·光圈指标 | 第48-49页 |
| ·数字波面指标 | 第49-50页 |
| ·两种指标的关系 | 第50-51页 |
| ·仪器的调整及测量 | 第51-54页 |
| ·仪器的调整 | 第51-52页 |
| ·数据测量 | 第52-54页 |
| ·不确定度分析 | 第54-56页 |
| ·方差和传播系数 | 第54-55页 |
| ·输入量的标准不确定度来源 | 第55页 |
| ·合成不确定度与扩展不确定度 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 6 总结与展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
