| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 引言 | 第8-18页 |
| ·课题的研究意义及目的 | 第8-9页 |
| ·表面形貌光学测量技术方法 | 第9-12页 |
| ·光学探针法 | 第9-10页 |
| ·干涉显微法 | 第10-12页 |
| ·白光干涉技术 | 第12-15页 |
| ·白光干涉控制系统典型结构 | 第13-14页 |
| ·白光干涉对焦 | 第14-15页 |
| ·课题来源 | 第15页 |
| ·本文的主要研究内容及论文结构安排 | 第15-18页 |
| 第2章 白光垂直扫描干涉仪 | 第18-26页 |
| ·白光垂直扫描干涉原理 | 第18页 |
| ·白光垂直扫描干涉仪系统结构 | 第18-20页 |
| ·光学干涉系统 | 第20-23页 |
| ·干涉仪软件系统 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 第3章 白光垂直扫描干涉仪运动控制系统的设计 | 第26-38页 |
| ·白光垂直扫描干涉仪运动控制结构 | 第26页 |
| ·步进电机单轴驱动器 | 第26-30页 |
| ·丝杆及导轨的选型 | 第27-28页 |
| ·步进电机的选型 | 第28-29页 |
| ·步进电机单轴驱动器的控制 | 第29-30页 |
| ·压电陶瓷微位移器 | 第30-37页 |
| ·压电陶瓷的工作原理及特性 | 第31-33页 |
| ·柔性铰链 | 第33页 |
| ·压电陶瓷微位移器的控制 | 第33-34页 |
| ·性能测试 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 运动控制系统的优化—白光干涉自动对焦扫描技术 | 第38-52页 |
| ·白光干涉对焦扫描的特殊性 | 第38-39页 |
| ·评价函数 | 第39-42页 |
| ·灰度方差评价函数 | 第39页 |
| ·梯度评价函数 | 第39-40页 |
| ·频谱评价函数 | 第40页 |
| ·评价函数性能对比分析 | 第40-42页 |
| ·基于图像灰度方差变化的方法 | 第42-48页 |
| ·自动对焦扫描策略 | 第42-44页 |
| ·阈值的选取 | 第44-47页 |
| ·阈值重复性分析 | 第47-48页 |
| ·白光干涉仪测量性能分析 | 第48-51页 |
| ·单刻线样板 | 第49-50页 |
| ·多刻线样板 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 总结与展望 | 第52-54页 |
| ·总结 | 第52页 |
| ·展望 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第60页 |