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无定形氧化硅的相分离和纳晶硅镶嵌二氧化硅的制备

摘要第1-7页
Abstract第7-9页
第一章 引言第9-12页
   ·纳米材料第9页
   ·纳晶硅镶嵌二氧化硅第9-10页
   ·本文研究内容和结构安排第10-12页
第二章 纳晶硅镶嵌二氧化硅的制备和表征第12-20页
   ·脉冲激光烧蚀和脉冲激光沉积第12-15页
     ·脉冲激光烧蚀第12-13页
     ·脉冲激光沉积第13-15页
   ·纳晶硅镶嵌二氧化硅的制备第15-17页
     ·无定形氧化硅薄膜的沉积第15-16页
     ·纳晶硅镶嵌二氧化硅的形成第16-17页
   ·纳晶硅镶嵌二氧化硅的结构表征和特性测量第17-20页
     ·纳晶硅镶嵌二氧化硅的结构表征第17-18页
     ·纳晶硅镶嵌二氧化硅的特性测量第18-20页
第三章 纳晶硅镶嵌二氧化硅的结构和性质第20-36页
   ·纳晶硅镶嵌二氧化硅的结构第20-23页
     ·傅里叶变换红外光谱分析第20-21页
     ·喇曼散射光谱分析第21-23页
   ·纳晶硅镶嵌二氧化硅的光学性质第23-26页
     ·折射率和消光系数第23-24页
     ·光透射和光吸收第24-26页
   ·纳晶硅镶嵌二氧化硅的光发射和光激发第26-31页
     ·光发射特性第26-29页
     ·光激发特性第29-31页
   ·部分制备条件对纳晶硅镶嵌二氧化硅结构和性质的影响第31-35页
     ·无定形氧化硅薄膜沉积时氧气气压的影响第31-33页
     ·相分离时退火温度的影响第33-35页
   ·本章小结第35-36页
第四章 无定形氧化硅中的相分离和纳晶硅的形成第36-52页
   ·退火温度对纳晶硅镶嵌二氧化硅结构和性质的影响第36-44页
     ·傅里叶变换红外光谱分析第36-39页
     ·喇曼散射光谱分析第39-40页
     ·光发射特性第40-43页
     ·光激发特性第43-44页
   ·退火时间对纳晶硅镶嵌二氧化结构和性质的影响第44-49页
     ·退火时间对结构的影响第44-46页
     ·退火时间对光发射和光激发的影响第46-49页
   ·无定形氧化硅的相分离和纳晶硅的形成第49-51页
   ·本章小结第51-52页
第五章 总结和展望第52-55页
   ·本文总结第52-53页
   ·工作展望和建议第53-55页
参考文献第55-61页
后记第61-63页
致谢第63-64页

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