| 第1章 绪论 | 第1-27页 |
| ·传感器技术的发展过程 | 第9-10页 |
| ·传感器的分类 | 第10-11页 |
| ·按被测参量分类 | 第10页 |
| ·按传感器的工作机理分类 | 第10-11页 |
| ·按照能量转换分类 | 第11页 |
| ·按传感器使用材料分类 | 第11页 |
| ·按传感器输出信号分类 | 第11页 |
| ·传感器技术发展趋势 | 第11-13页 |
| ·新材料开发 | 第12页 |
| ·集成化技术 | 第12页 |
| ·多功能集成传感器 | 第12页 |
| ·智能化传感器 | 第12-13页 |
| ·传感器技术在现代科学方面的主要应用 | 第13-14页 |
| ·在非电量测量方面的应用 | 第13页 |
| ·在工业生产及自动化方面的应用 | 第13页 |
| ·在基础学科研究方面的应用 | 第13页 |
| ·在军事方面的应用 | 第13-14页 |
| ·先进的传感器技术 | 第14-19页 |
| ·固态传感器技术 | 第14-16页 |
| ·导波光学传感技术 | 第16页 |
| ·先进传感器的应用前景 | 第16-19页 |
| ·微型振动传感器 | 第19-25页 |
| ·光纤悬臂梁式振动传感器 | 第20-21页 |
| ·压阻式硅微型加速度传感器 | 第21-23页 |
| ·基于MEMS技术的微电容式加速度传感器 | 第23-24页 |
| ·SiO_2微光机械振动/加速度传感器 | 第24-25页 |
| ·本论文的主要工作和创新点 | 第25-27页 |
| 第2章 聚合物微光机械振动传感器结构及工作原理 | 第27-31页 |
| ·传感器结构 | 第27-28页 |
| ·传感器工作原理 | 第28-29页 |
| ·振动/加速度量——位移量的转换 | 第28-29页 |
| ·位移量——光功率差的转换 | 第29页 |
| ·光功率差——电信号的转换 | 第29页 |
| ·传感器结构及工艺改进 | 第29-30页 |
| ·材料的改进 | 第29-30页 |
| ·关键工艺的改进 | 第30页 |
| ·MMI结构的优化 | 第30页 |
| ·传感器的优点及先进性 | 第30-31页 |
| 第3章 微机械振动悬臂梁力学特性分析及结构设计 | 第31-53页 |
| ·悬臂梁的静态特性 | 第31-38页 |
| ·悬臂梁的弯矩方程 | 第31-33页 |
| ·横截面上的应力及其分布规律 | 第33页 |
| ·最大应力计算公式 | 第33-35页 |
| ·截面的轴惯性矩和抗弯截面模量 | 第35-36页 |
| ·梁的弯曲强度 | 第36页 |
| ·梁的弯曲变形 | 第36-38页 |
| ·悬臂梁的动态特性 | 第38-44页 |
| ·基本方程 | 第38-40页 |
| ·频率特性 | 第40-44页 |
| ·悬臂梁结构设计 | 第44-51页 |
| ·设计参数表达式 | 第44-46页 |
| ·力学参数设计 | 第46-47页 |
| ·参数选取规则 | 第47-50页 |
| ·导出参数 | 第50-51页 |
| ·强度校核 | 第51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 第4章 波导集成光路模式特性分析及结构设计 | 第53-69页 |
| ·马卡提里近似解析法 | 第54-60页 |
| ·近似假设条件 | 第54-55页 |
| ·E_(mn)~x模式分析 | 第55-58页 |
| ·E_(mn)~y模式分析 | 第58-60页 |
| ·有效折射率法 | 第60-63页 |
| ·E_(mn)~x模式分析 | 第61-62页 |
| ·E_(mn)~y模式分析 | 第62-63页 |
| ·掩埋矩形波导的模式特性分析 | 第63-64页 |
| ·集成光路输入输出波导结构设计 | 第64-68页 |
| ·波导材料折射率的确定 | 第65页 |
| ·输入输出波导截面结构尺寸的确定 | 第65-68页 |
| ·小结 | 第68-69页 |
| 第5章 动态输入多模干涉器自镜像特性分析及结构设计 | 第69-87页 |
| ·多模干涉耦合器的原理 | 第70-78页 |
| ·导模传输分析法 | 第70-73页 |
| ·输入光场分布函数 | 第73-74页 |
| ·多模波导的自镜像效应 | 第74-76页 |
| ·输出光场分布函数 | 第76-78页 |
| ·动态输入1×2 多模干涉耦合器结构设计 | 第78-79页 |
| ·理论模拟 | 第79-85页 |
| ·小结 | 第85-87页 |
| 第6章 器件制备与测试 | 第87-105页 |
| ·结构参数及设计指标 | 第87-90页 |
| ·悬臂梁结构参数 | 第87页 |
| ·光波导结构参数 | 第87-90页 |
| ·制备工艺 | 第90-99页 |
| ·材料选择 | 第90页 |
| ·工艺流程 | 第90-92页 |
| ·器件照片 | 第92-93页 |
| ·关键工艺 | 第93-99页 |
| ·器件测量 | 第99-104页 |
| ·矩形波导端面结构观测 | 第99-100页 |
| ·端面输出光斑测量 | 第100-102页 |
| ·输出光功率测量 | 第102-103页 |
| ·悬臂梁挠度检测 | 第103-104页 |
| ·小结 | 第104-105页 |
| 第7章 各向异性单模波导参数的表征方法 | 第105-121页 |
| ·各向异性平板波导模式本征方程 | 第106-110页 |
| ·波导模型及参数 | 第110-112页 |
| ·测量系统及数据处理过程 | 第112-114页 |
| ·测量结果与讨论 | 第114-119页 |
| ·电光聚合物单模波导的测量 | 第114-117页 |
| ·聚合物PMMA波导的测量 | 第117-119页 |
| ·小结 | 第119-121页 |
| 第8章 结论 | 第121-125页 |
| 参考文献 | 第125-129页 |
| 附录:攻读博士学位期间发表的论文及专利 | 第129-130页 |
| 摘要 | 第130-134页 |
| Abstract | 第134-142页 |
| 致谢 | 第142页 |