| 摘 要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-12页 |
| ·背景 | 第9-10页 |
| ·本论文的主要工作 | 第10-11页 |
| ·论文纲要 | 第11-12页 |
| 第二章 微湿度传感器的工作原理与结构分析 | 第12-21页 |
| ·湿度表示法 | 第12-13页 |
| ·质量百分比和体积百分比 | 第12页 |
| ·相对湿度和绝对湿度 | 第12页 |
| ·露点霜点法 | 第12-13页 |
| ·湿度传感器性能要求 | 第13-14页 |
| ·湿度量程 | 第13页 |
| ·相对湿度特性曲线 | 第13页 |
| ·灵敏度 | 第13页 |
| ·湿度温度系数 | 第13页 |
| ·响应时间 | 第13-14页 |
| ·滞回特性 | 第14页 |
| ·微型湿度传感器 | 第14-17页 |
| ·压阻型湿度传感器 | 第14-15页 |
| ·悬臂梁型湿度传感器 | 第15-16页 |
| ·热电偶型湿度传感器 | 第16-17页 |
| ·电容型湿度传感器 | 第17页 |
| ·硅电容型湿度传感器 | 第17-20页 |
| ·多孔硅/多孔铝 | 第17-18页 |
| ·聚酰亚胺 | 第18-19页 |
| ·空气作为感湿介质 | 第19-20页 |
| ·小结 | 第20-21页 |
| 第三章 CMOS兼容电容湿度传感器的设计与分析 | 第21-31页 |
| ·湿度传感器结构设计 | 第21页 |
| ·传感器结构设计 | 第21页 |
| ·感湿介质选择 | 第21页 |
| ·新型湿度传感器结构分析 | 第21-27页 |
| ·湿度传感器工作原理 | 第22-23页 |
| ·空气介电常数与相对湿度的关系 | 第23-25页 |
| ·聚酰亚胺的介电常数与相对湿度的关系 | 第25-27页 |
| ·利用有限元分析软件分析传感器结构 | 第27-28页 |
| ·Coventor分析结果 | 第27-28页 |
| ·ANSYS分析结果 | 第28页 |
| ·湿度传感器的理论模型 | 第28-29页 |
| ·有关表面吸附的问题 | 第29-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 第四章 电容湿度传感器接口电路设计 | 第31-39页 |
| ·电容/频率转换电路 | 第31-33页 |
| ·电容/电压转换电路 | 第33-37页 |
| ·开关设计 | 第33-35页 |
| ·时钟馈通 | 第35页 |
| ·KT/C噪声 | 第35-36页 |
| ·四相时钟设计 | 第36-37页 |
| ·开关电容电路仿真 | 第37-38页 |
| ·小结 | 第38-39页 |
| 第五章 CMOS电容湿度传感器工艺与版图及后道工艺设计 | 第39-50页 |
| ·CMOS兼容电容湿度传感器的工艺 | 第39-41页 |
| ·具体工艺流程 | 第40页 |
| ·工艺流程示意图 | 第40-41页 |
| ·片上湿度传感器的版图设计 | 第41-43页 |
| ·光刻多晶硅加热电路 | 第41-42页 |
| ·光刻二氧化硅 | 第42页 |
| ·光刻铝电极 | 第42-43页 |
| ·光刻钝化层 | 第43页 |
| ·流水结果 | 第43-44页 |
| 5 4后道工艺 | 第44-49页 |
| ·涂覆聚酰胺酸薄膜 | 第45-46页 |
| ·湿法刻蚀法 | 第46页 |
| ·光刻工艺 | 第46页 |
| ·亚胺化工艺 | 第46-47页 |
| ·亚胺化程度检验 | 第47-48页 |
| ·膜厚的测量 | 第48页 |
| ·返工工艺 | 第48-49页 |
| ·后道工艺中需要注意事项 | 第49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 第六章 CMOS兼容电容湿度传感器的性能测试 | 第50-63页 |
| ·湿度传感器的封装 | 第50-53页 |
| ·室外用的湿度传感器的封装形式 | 第50页 |
| ·手持式封装 | 第50-51页 |
| ·改进后的湿度传感器封装 | 第51-52页 |
| ·湿度传感器的引线考虑 | 第52-53页 |
| ·电容湿度传感器的性能测试 | 第53-62页 |
| ·湿度量程 | 第54页 |
| ·灵敏度测试 | 第54-55页 |
| ·滞回特性测试 | 第55-56页 |
| ·温度特性测试 | 第56-58页 |
| ·稳定性测试 | 第58-60页 |
| ·响应时间测量 | 第60-61页 |
| ·加热电路性能测试 | 第61-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 第七章 结束语 | 第63-66页 |
| ·总结 | 第63-64页 |
| ·存在问题及改进意见 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 附录A电容频率转换电路Spice文件 | 第69-70页 |
| 附录B电容电压转换电路Spice文件 | 第70-73页 |
| 附录C电容电压转换电路简图 | 第73-74页 |
| 作者简介 | 第74-75页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第75-76页 |
| 攻读硕士学位期间申请专利 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |