FBAR温度传感器研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 缩略词表 | 第8-9页 |
| 目次 | 第9-12页 |
| 1 绪论 | 第12-22页 |
| ·传感器基础 | 第12-13页 |
| ·电声技术 | 第13-18页 |
| ·电声器件 | 第13-16页 |
| ·FBAR传感器 | 第16-18页 |
| ·FBAR温度传感器的研究意义与研究现状 | 第18-19页 |
| ·FBAR温度传感器的研究意义 | 第18页 |
| ·FBAR温度传感器的研究现状 | 第18-19页 |
| ·论文的研究内容与章节安排 | 第19-22页 |
| ·论文的研究内容 | 第19页 |
| ·各章节内容安排 | 第19-22页 |
| 2 FBAR基础 | 第22-44页 |
| ·基本声波理论 | 第22-23页 |
| ·压电效应与压电方程 | 第23-26页 |
| ·压电效应 | 第23-24页 |
| ·压电方程 | 第24-26页 |
| ·FBAR的工作原理 | 第26-29页 |
| ·理想FBAR的工作原理 | 第26-27页 |
| ·FBAR的制备材料 | 第27-28页 |
| ·FBAR的品质因数 | 第28-29页 |
| ·FBAR的机电耦合系数 | 第29页 |
| ·FBAR的典型结构 | 第29-31页 |
| ·FBAR的制备工艺 | 第31-35页 |
| ·体硅刻蚀型FBAR的制备工艺 | 第31-32页 |
| ·空气隙型FBAR的制备工艺 | 第32-33页 |
| ·固态装配型FBAR的制备工艺 | 第33页 |
| ·一种制备体硅刻蚀型FBAR的新方法 | 第33-35页 |
| ·FBAR的等效电路模型 | 第35-42页 |
| ·Mason等效电路模型 | 第35-38页 |
| ·BVD等效电路模型 | 第38-41页 |
| ·MBVD等效电路模型 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 3 FBAR温度传感器 | 第44-62页 |
| ·FBAR温度传感器原理 | 第44-47页 |
| ·FBAR的温度频率系数 | 第44-45页 |
| ·FBAR引入温度因素的BVD等效电路模型 | 第45-46页 |
| ·FBAR常用的温度补偿方法 | 第46-47页 |
| ·FBAR温度传感器研究 | 第47-56页 |
| ·FBAR样品制备 | 第48页 |
| ·测量设备与测量方法 | 第48-49页 |
| ·FBAR温度频率特性的测量 | 第49-56页 |
| ·密封空气型FBAR温度传感器 | 第56-60页 |
| ·密封空气型FBAR的制作 | 第56-57页 |
| ·密封空气提高FBAR温度传感灵敏度的原理 | 第57-58页 |
| ·密封空气型FBAR温度传感器的测量 | 第58-60页 |
| ·FBAR的压力频率系数 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 4 FBAR的有限元仿真 | 第62-80页 |
| ·有限元概述 | 第62-64页 |
| ·有限元法 | 第62-63页 |
| ·有限元分析的主要步骤 | 第63-64页 |
| ·有限元仿真软件ANSYS | 第64-70页 |
| ·ANSYS分绍 | 第64-66页 |
| ·ANSYS有限元分析的步骤 | 第66-67页 |
| ·ANSYS压电分析 | 第67-70页 |
| ·FBAR的ANSYS仿真 | 第70-79页 |
| ·FBAR谐振特性仿真 | 第70-74页 |
| ·电极与压电薄膜对FBAR谐振频率的影响 | 第74-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 5 总结及展望 | 第80-82页 |
| ·论文的主要内容 | 第80页 |
| ·论文的不足之处 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第86页 |
