空心阴极放电特性的研究
摘要 | 第1-7页 |
Abstract | 第7-12页 |
引言 | 第12-14页 |
第一章 空心阴极放电概述 | 第14-17页 |
·空心阴极放电机理 | 第14-15页 |
·空心阴极放电产生的条件及其主要特性 | 第15-17页 |
第二章 低温等离子体放电过程的各种数值模拟方法 | 第17-27页 |
·粒子模拟 | 第18-19页 |
·流体模拟 | 第19-26页 |
·流体方程 | 第19-21页 |
·边界条件 | 第21-22页 |
·流体方程的数值处理 | 第22-26页 |
·混合模拟 | 第26-27页 |
第三章 空心阴极放电的流体模拟 | 第27-37页 |
·空心阴极放电模型的基本假设 | 第27-28页 |
·空心阴极放电的流体模型 | 第28-29页 |
·流体模型中参数的确定 | 第29-30页 |
·方程的离散化 | 第30-31页 |
·算法实现 | 第31-33页 |
·模拟结果及讨论 | 第33-37页 |
·空心阴极放电的一般放电特性 | 第33-34页 |
·改变放电条件对模拟结果的影响 | 第34-37页 |
第四章 低温等离子体的诊断概述 | 第37-48页 |
·Langmuir探针法 | 第37-43页 |
·发射光谱法 | 第43-47页 |
·等离子体中的原子过程 | 第43-45页 |
·等离子体的简化模型 | 第45-46页 |
·等离子体中的光谱辐射 | 第46-47页 |
·其它诊断方法 | 第47-48页 |
第五章 空心阴极放电的探针及光谱诊断 | 第48-66页 |
·空心阴极放电装置 | 第48-49页 |
·基本放电特性测试 | 第49-52页 |
·伏安特性曲线 | 第49-50页 |
·气压对放电的影响 | 第50-52页 |
·Langmuir探针诊断 | 第52-61页 |
·探针诊断电路及装置的参数设置 | 第52-54页 |
·探针诊断程序设计 | 第54-57页 |
·探针诊断数据处理及结果分析 | 第57-61页 |
·N2空心阴极放电的发射光谱诊断及分析 | 第61-65页 |
·小结 | 第65-66页 |
第六章 结论与展望 | 第66-68页 |
参考文献 | 第68-72页 |
攻读学位期间发表的学术论文 | 第72-73页 |
致谢 | 第73页 |