| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·研究的背景与动机 | 第11-12页 |
| ·研究的目的与意义 | 第12-13页 |
| ·研究的方法 | 第13页 |
| ·主要内容与架构 | 第13-15页 |
| 第二章 AMHS 自动搬送系统的发展演变历程 | 第15-21页 |
| ·第一代的AMHS 系统：200mm 自动化传送系统 | 第15-16页 |
| ·第二代的AMHS 系统：早期的300mm 自动化传送系统. | 第16-18页 |
| ·第三代的AMHS 系统：EQ to EQ 的直接搬送方式 | 第18页 |
| ·第四代的AMHS 系统：高度智能化的自动搬送系统 | 第18-20页 |
| ·小结 | 第20-21页 |
| 第三章 AMHS 系统的构成结构和控制方式 | 第21-29页 |
| ·AMHS 系统的结构组成. | 第21-24页 |
| ·存储单元（Stocker 和UTS）的介绍 | 第21-22页 |
| ·搬送单元的介绍 | 第22-23页 |
| ·控制单元的介绍 | 第23-24页 |
| ·AMHS 系统的控制特点. | 第24-25页 |
| ·AMHS 系统的作业方式. | 第25-28页 |
| ·PULL 的搬送方式. | 第26页 |
| ·PUSH 的搬送方式. | 第26-27页 |
| ·Tool To Tool 的直接搬送方式 | 第27-28页 |
| ·小结 | 第28-29页 |
| 第四章 AMHS 系统的效率和控制策略分析 | 第29-42页 |
| ·AMHS 系统的主要性能指标与搬送效率的关系 | 第29-35页 |
| ·工厂在线品FOUP 的存储能力. | 第29-30页 |
| ·AMHS 系统硬件机械的稳定性 | 第30-31页 |
| ·AMHS 系统的整体搬送效率 | 第31-35页 |
| ·AMHS 系统搬送性能的控制策略分析 | 第35-41页 |
| ·空闲搬送车的搜索选择逻辑 | 第35-37页 |
| ·搬送路径的选择逻辑 | 第37-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 第五章 AMHS 系统的建模基础和仿真方法 | 第42-55页 |
| ·AMHS 系统的建模基础---SEMI 标准介绍 | 第42-49页 |
| ·E102-CIM Framework for Material Transport and Storage | 第42-43页 |
| ·E82-IBSEM | 第43-45页 |
| ·E88-StockerSEM | 第45-47页 |
| ·E84-PIO Interface | 第47-49页 |
| ·SEMATECH 的半导体工厂AMHS 系统模型 | 第49-52页 |
| ·SEMATECH 中的AMHS 系统模型 | 第49-51页 |
| ·半导体工厂较常使用的直接搬送型AMHS 系统 | 第51-52页 |
| ·AMHS 建模所需的参考数据 | 第52-54页 |
| ·AMHS 系统的自身参数 | 第52-53页 |
| ·AMHS 系统的布局数据 | 第53页 |
| ·工厂的基本生产数据 | 第53-54页 |
| ·AMHS 系统的建模仿真方法 | 第54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第六章 仿真软件Auto Mod 的功能介绍 | 第55-59页 |
| ·仿真软件Auto Mod 介绍 | 第55-56页 |
| ·仿真软件Auto Mod 的功能模块介绍 | 第56-57页 |
| ·仿真软件AutoMod 的建模方法 | 第57-58页 |
| ·AMHS 系统在Auto Mod 中的仿真建模 | 第58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第七章 AMHS 系统的仿真实例与分析方法 | 第59-67页 |
| ·仿真实例的背景介绍 | 第59-62页 |
| ·实例的基本情况介绍 | 第59-60页 |
| ·实例的AMHS 系统基本数据介绍 | 第60-61页 |
| ·实例的工厂基本数据类型介绍 | 第61-62页 |
| ·实例的其他情况介绍 | 第62页 |
| ·AMHS 系统的搬送瓶颈分析和控制策略 | 第62-63页 |
| ·仿真运行结果的比较分析 | 第63-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第八章 AMHS 系统的未来发展和研究方向 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第74-76页 |
