首页--工业技术论文--一般工业技术论文--工业通用技术与设备论文--薄膜技术论文

磁控溅射制备二氧化钛薄膜及其纳米结构的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
ACKNOWLEDGEMENTS第7-10页
LIST OF FIGURES第10-12页
LIST OF TABLES第12-13页
CHAPTER 1 Introduction第13-35页
   ·The global environmental problems第13-14页
   ·Application of TiO_2 films第14-26页
     ·Potential application in DSSC第15-20页
       ·Processes in DSSC第17-19页
       ·Photoelectrodes for DSSC第19-20页
     ·Potential application in photocatalysis第20-25页
       ·The principle of photocatalysis第22-23页
       ·Development of TiO_2 photocatalysts第23-25页
     ·Potential application in biosensor第25-26页
   ·Modified TiO_2 for application第26-32页
     ·Preparation of TiO_2 film by compositional doping第27-29页
     ·Preparation of nanometerials TiO_2 film第29-32页
   ·Objective of the research第32-35页
     ·Study the growth of TiO_2 film by reactive magnetron sputtering第32页
     ·Study the growth of nanostructural TiO_2 film by oxidizing sputtering deposited Ti films第32-35页
CHAPTER 2 Experimental第35-40页
   ·Preparation of TiO_2 film第35-37页
     ·Reactive magnetron sputtering第35-36页
     ·Directly oxidizing metal films deposited by magnetron sputtering第36-37页
   ·Characterization第37-40页
     ·Raman spectroscopy第37-38页
     ·X-ray diffraction第38页
     ·Scanning Electron Microscope (SEM)第38-39页
     ·Ellipsometry第39-40页
CHAPTER 3 Growth of TiO_2 films by reactive magnetron sputtering第40-59页
   ·Influence of O_2/Ar flow rate ratio第41-45页
   ·Influence of working pressure第45-49页
   ·Influence of substrate temperature第49-53页
   ·Influence of sputtering power第53-57页
   ·Conclusion第57-59页
CHAPTER 4 Growth of nanostructural TiO_2 films by oxidizing the sputtering deposited metal films第59-79页
   ·Nanostructural films prepared by oxidizing sputtering deposited pure Ti film第60-67页
     ·Effects of oxidizing temperature第60-63页
     ·Characterization of TiO_2 nanostructures第63-65页
     ·Growth mechanism第65-67页
   ·Nanostructural films prepared by oxidizing sputtering deposited Cu-Ti and Zn-Ti films第67-78页
     ·Effects of process parameters第69-75页
       ·Effects of metal film composition第69-72页
       ·Effects of oxidizing temperature第72页
       ·Effects of heating rate第72-73页
       ·Effects of heating duration第73-75页
     ·Characterization of TiO_2 nanostructure第75-77页
     ·Growth mechanism第77-78页
   ·Conclusion第78-79页
CHAPTER 5 Conclusion第79-81页
REFERENCES第81-88页

论文共88页,点击 下载论文
上一篇:新型硼碳氮薄膜的化学气相生长及其结构和性质
下一篇:胶体金标记四环素类抗生素单克隆抗体探针的研究