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新型硼碳氮薄膜的化学气相生长及其结构和性质

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-8页
ACKNOWLEDGEMENTS第8-9页
CONTENTS第9-11页
LIST OF TABLES第11-12页
LIST OF FIGURES第12-14页
CHAPTER 1 INTRODUCTION第14-25页
   ·Introduction of hBN film第14-20页
   ·Introduction of BCN film第20-23页
   ·Major work of my research第23-25页
CHAPTER 2 FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF HBN AND BCN THIN FILMS第25-37页
   ·Microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD) system第25-31页
   ·Fabrication of hBN and BCN Thin Films第31-33页
   ·Characterization第33-37页
CHAPTER 3 OPTIMIZATION OF EXPERIMENTAL PARAMETERS FOR DEPOSITION OF HBN FILM第37-42页
   ·Effects of the working pressure第37-39页
   ·Effects of the deposition time第39-41页
   ·Conclusion第41-42页
CHAPTER 4 STRUCTURE AND PROPERTIES OF BCN FILM第42-58页
   ·XPS第42-45页
   ·FTIR Spectra第45-46页
   ·SEM第46-48页
   ·TEM and EELS第48-50页
   ·Photoluminescence property of BCN film第50-55页
   ·Field emission property of BCN film第55-56页
   ·Conclusion第56-58页
CHAPTER 5 STRUCTURE AND PROPERTIES OF BCN SPHERES第58-69页
   ·SEM第58-59页
   ·EELS第59-60页
   ·IR Spectra第60-61页
   ·Raman Spectra第61-64页
   ·Photoluminescence property of BCN spheres第64-67页
   ·Conclusion第67-69页
CHAPTER 6 CONCLUSION第69-70页
REFERENCE第70-77页

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