| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 致谢 | 第9-15页 |
| 主要符号表 | 第15-19页 |
| 1 绪论 | 第19-39页 |
| ·论文的研究背景与意义 | 第19-20页 |
| ·仿生传感技术的研究现状及发展方向 | 第20-28页 |
| ·基于昆虫体表刚毛的仿生传感技术研究现状 | 第21-23页 |
| ·基于蜘蛛机械感知机理的仿生传感技术研究现状 | 第23-28页 |
| ·目前研究有待深入的问题 | 第28页 |
| ·基于MEMS的微纳传感技术研究现状 | 第28-35页 |
| ·微悬臂梁传感技术的国内外研究现状 | 第29-31页 |
| ·硅微加速度传感器研制的国内外研究现状 | 第31-34页 |
| ·目前研究需进一步深入的若干问题 | 第34-35页 |
| ·论文主要研究内容与框架 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 2 蜘蛛机械感知机理及仿生传感技术研究 | 第39-50页 |
| ·引言 | 第39-40页 |
| ·蜘蛛的体表机械感受器及生物学解剖实验研究 | 第40-42页 |
| ·基于蜘蛛刚毛的流量触觉感知机理及仿生传感技术研究 | 第42-45页 |
| ·基于蜘蛛刚毛的流量触觉感知机理 | 第42-43页 |
| ·基于蜘蛛刚毛的仿生传感技术研究 | 第43-45页 |
| ·基于蜘蛛琴形器的振动感知机理及仿生传感技术研究 | 第45-49页 |
| ·基于蜘蛛琴形器的振动感知机理研究 | 第45-48页 |
| ·基于蜘蛛琴形器的仿生传感技术研究 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 3 孔缝-微悬臂梁力学特性分析及其传感技术研究 | 第50-72页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·微悬臂梁力学特性及传感应用 | 第50-58页 |
| ·微悬臂梁静态力学特性及传感应用 | 第50-52页 |
| ·微悬臂梁动态力学特性及传感应用 | 第52-54页 |
| ·微悬臂梁传感器的检测方法 | 第54-58页 |
| ·基于孔缝的微悬臂梁应力集中效应分析 | 第58-60页 |
| ·基于孔缝的微悬臂梁应力集中效应分析 | 第58-59页 |
| ·基于孔缝的微悬臂梁应力集中效应有限元仿真分析 | 第59-60页 |
| ·孔缝-微悬臂梁力学特性分析及传感技术应用 | 第60-71页 |
| ·孔缝-微悬臂梁力学特性与检测性能分析 | 第61-65页 |
| ·孔缝结构对微悬臂梁力学特性与传感性能的影响 | 第65-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 4 仿生硅微加速度传感器结构设计及性能分析 | 第72-91页 |
| ·引言 | 第72页 |
| ·硅微加速度传感器的工作原理 | 第72-74页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的结构设计与力学建模 | 第74-79页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的结构设计 | 第74页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的力学建模 | 第74-76页 |
| ·压敏电阻的布置与设计分析 | 第76-79页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的性能计算与分析 | 第79-90页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的性能计算 | 第79-86页 |
| ·孔缝-微悬臂梁对仿生硅微加速度传感器性能的影响 | 第86-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 5 仿生硅微加速度传感器多目标优化设计方法研究 | 第91-108页 |
| ·引言 | 第91-92页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的性能影响因素分析 | 第92-99页 |
| ·仿生硅微加速度传感器优化设计目标 | 第92-93页 |
| ·结构参数对仿生硅微加速度传感器性能的影响 | 第93-97页 |
| ·工艺参数对仿生硅微加速度传感器性能的影响 | 第97-98页 |
| ·工作参数对仿生硅微加速度传感器性能的影响 | 第98-99页 |
| ·仿生硅微加速度传感器多目标优化设计方法研究 | 第99-104页 |
| ·多目标优化设计 | 第99-101页 |
| ·基于NSGA-Ⅱ的多目标优化设计方法 | 第101-103页 |
| ·不同优化设计结果 | 第103-104页 |
| ·仿生硅微加速度传感器优化设计分析与讨论 | 第104-107页 |
| ·单目标优化设计分析 | 第104-106页 |
| ·基于NSGA-Ⅱ的双目标优化设计分析 | 第106-107页 |
| ·本章小结 | 第107-108页 |
| 6 仿生硅微加速度传感器的工艺制作与封装技术研究 | 第108-127页 |
| ·引言 | 第108页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的工艺流程 | 第108-118页 |
| ·基本硅微机械加工工艺设计 | 第108-113页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的制作工艺 | 第113-116页 |
| ·电子版图与制版 | 第113-114页 |
| ·工艺流程设计与分析 | 第114-116页 |
| ·仿生硅微加速度传感器制作结果的SEM电镜扫描 | 第116-118页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的圆片级封装制作 | 第118-120页 |
| ·仿生硅微加速度传感器圆片级封装工艺分析 | 第118-119页 |
| ·仿生硅微加速度传感器圆片级封装及后续制作 | 第119-120页 |
| ·圆片级封装对仿生硅微加速度传感器性能的影响 | 第120-126页 |
| ·阻尼系数对仿生硅微加速度传感器性能的影响 | 第120-121页 |
| ·仿生硅微加速度传感器中的空气阻尼分析 | 第121-126页 |
| ·本章小结 | 第126-127页 |
| 7 仿生硅微加速度传感器的性能测试及实验研究 | 第127-147页 |
| ·引言 | 第127页 |
| ·仿生硅微加速度传感器接口测试电路 | 第127-132页 |
| ·惠斯通电桥及接口测试电路 | 第127-128页 |
| ·惠斯通电桥非线性影响因素分析 | 第128-132页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的动态特性测试实验平台 | 第132-135页 |
| ·仿生硅微加速度传感器动态特性测试原理 | 第132页 |
| ·动态特性测试实验系统的硬件配置 | 第132-133页 |
| ·仿生硅微加速度传感器动态特性测试实验照片 | 第133-135页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的动态特性实验及研究 | 第135-139页 |
| ·灵敏度及线性度测试分析 | 第135-136页 |
| ·频响特性测试分析 | 第136-138页 |
| ·横向干扰测试分析 | 第138页 |
| ·噪声测试与分析 | 第138-139页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的非线性因素影响分析 | 第139-146页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的横向干扰分析 | 第139-141页 |
| ·安装方式对仿生硅微加速度传感器测试性能的影响 | 第141-146页 |
| ·仿生硅微加速度传感器的安装方式 | 第141-142页 |
| ·安装方式对仿生硅微加速度传感器测试性能的影响 | 第142-146页 |
| ·本章小结 | 第146-147页 |
| 8 总结与展望 | 第147-151页 |
| ·主要结论 | 第147-149页 |
| ·研究展望 | 第149-151页 |
| 参考文献 | 第151-166页 |
| 攻读博士学位期间参加的科研项目及获得的科研成果 | 第166-167页 |
| 1 发表及录用的学术论文 | 第166页 |
| 2 申请及授权的国家专利 | 第166页 |
| 3 参加的科研项目 | 第166-167页 |