MEMS加速度传感器全差分读出电路的分析与设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 MEMS加速度传感器的发展 | 第9-14页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 国内发展 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国外发展 | 第11-13页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 读出电路的工作原理及结构 | 第14-18页 |
| 2.1 读出电路的工作原理 | 第14-16页 |
| 2.2 读出电路的结构 | 第16-17页 |
| 2.3 本章小结 | 第17-18页 |
| 第3章 整体电路的分析与设计 | 第18-53页 |
| 3.1 参考源的基本结构 | 第18页 |
| 3.2 参考源电路设计 | 第18-21页 |
| 3.3 基准电路的仿真 | 第21-22页 |
| 3.4 MPCG电路的时序设计 | 第22-27页 |
| 3.4.1 启动模式 | 第22-25页 |
| 3.4.2 运行模式 | 第25-27页 |
| 3.5 非理想因素的分析 | 第27-28页 |
| 3.6 全差分电容电路设计 | 第28-43页 |
| 3.6.1 运算放大器电路的基本结构 | 第31-33页 |
| 3.6.2 全差分运算放大器的设计 | 第33-35页 |
| 3.6.3 两级运放计算 | 第35-39页 |
| 3.6.4 全差分电容放大器的仿真 | 第39-43页 |
| 3.7 减法器电路的设计与仿真 | 第43-45页 |
| 3.8 缓冲器电路的设计与仿真 | 第45-50页 |
| 3.9 电容阵列设计 | 第50-52页 |
| 3.10 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 电路的流片与测试 | 第53-61页 |
| 4.1 整体电路图 | 第53-54页 |
| 4.2 MPCG时序的测试 | 第54-58页 |
| 4.3 ADUM1410输入与输出的验证 | 第58-59页 |
| 4.4 基准静态电压的测试 | 第59-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 总结与展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 个人简历 | 第67-68页 |
| 在校期间发表的学术论文及研究成果 | 第68页 |
