| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 ZnO基材料概述 | 第8-10页 |
| 1.2 ZnO基透明导电薄膜 | 第10-15页 |
| 1.2.1 ZnO基透明导电薄膜的掺杂 | 第10页 |
| 1.2.2 ZnO基透明导电薄膜的应用 | 第10-12页 |
| 1.2.3 ZnO基透明导电薄膜的制备方法 | 第12-14页 |
| 1.2.4 ZnO基透明导电薄膜的表征方法 | 第14-15页 |
| 1.3 ZnO基薄膜制备现状及发展方向 | 第15-18页 |
| 1.3.1 ZnO透明导电薄膜溶胶凝胶法的发展现状 | 第15-16页 |
| 1.3.2 燃烧法的发展现状 | 第16-18页 |
| 1.4 论文选题依据及主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 ZnO透明导电薄膜制备条件优化及薄膜物性分析 | 第20-28页 |
| 2.1 实验试剂和仪器 | 第20页 |
| 2.2 ZnO透明薄膜的制备 | 第20-21页 |
| 2.2.1 玻璃衬底的清洗 | 第20-21页 |
| 2.2.2 前驱体配置 | 第21页 |
| 2.2.3 旋涂镀膜、预热、退火 | 第21页 |
| 2.3 ZnO薄膜的物性分析 | 第21-27页 |
| 2.3.1 醋酸锌与硝酸锌的比例对薄膜光电性能影响 | 第21-23页 |
| 2.3.2 In掺杂浓度对ZnO薄膜电学性质影响 | 第23-24页 |
| 2.3.3 退火温度对薄膜的影响 | 第24-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 Al和F掺杂ZnO透明导电薄膜制备及物性分析 | 第28-36页 |
| 3.1 实验试剂 | 第28页 |
| 3.2 Al掺杂ZnO和F掺杂ZnO透明导电薄膜的制备 | 第28页 |
| 3.3 AZO透明导电薄膜性能研究 | 第28-31页 |
| 3.4 FZO透明导电薄膜性能研究 | 第31-34页 |
| 3.5 本章小结 | 第34-36页 |
| 第四章 PET柔性衬底上透明导电薄膜制备及物性分析 | 第36-40页 |
| 4.1 PET上薄膜的制备 | 第36页 |
| 4.1.1 PET衬底清洗 | 第36页 |
| 4.1.2 前驱体配置 | 第36页 |
| 4.2 柔性透明导电薄膜的物性分析 | 第36-38页 |
| 4.2.1 温度对PET基底的影响 | 第36-37页 |
| 4.2.2 PET基底透明导电薄膜的光学性质 | 第37-38页 |
| 4.2.3 PET基底透明导电薄膜的电学性质 | 第38页 |
| 4.3 本章小结 | 第38-40页 |
| 结论与展望 | 第40-42页 |
| 致谢 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-46页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第46页 |
