AlN陶瓷微热板NO2气体传感器及其检测系统的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 气体传感器的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 MEMS气体传感器研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 NO_2气体传感器研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第16页 |
| 1.3.2 主要研究的内容 | 第16-18页 |
| 第2章 微热板气体传感器结构设计与工艺制备 | 第18-30页 |
| 2.1 传感器气敏机理 | 第18-19页 |
| 2.2 传感器结构设计与仿真分析 | 第19-22页 |
| 2.2.1 结构设计 | 第19页 |
| 2.2.2 传感器热仿真测试分析 | 第19-22页 |
| 2.3 传感器工艺实现的研究 | 第22-28页 |
| 2.3.1 传感器工艺实验流程 | 第22-24页 |
| 2.3.2 传感器芯片光刻剥离工艺 | 第24-25页 |
| 2.3.3 热隔离激光刻蚀工艺 | 第25页 |
| 2.3.4 敏感材料的合成 | 第25-27页 |
| 2.3.5 传感器的焊接工艺 | 第27-28页 |
| 2.4 传感器热性能测试 | 第28-29页 |
| 2.4.1 传感器热响应特性分析 | 第28页 |
| 2.4.2 传感器温度-功耗特性分析 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 检测系统的硬件设计 | 第30-40页 |
| 3.1 系统硬件总体方案设计 | 第30-31页 |
| 3.2 数据转换模块设计 | 第31-33页 |
| 3.2.1 传感器加热电路 | 第31-32页 |
| 3.2.2 传感器信号变送电路 | 第32页 |
| 3.2.3 信号滤波电路 | 第32-33页 |
| 3.3 数据采集与处理电路 | 第33-36页 |
| 3.3.1 最小系统设计 | 第34-35页 |
| 3.3.2 程序下载与调试接口电路 | 第35-36页 |
| 3.3.3 液晶显示电路 | 第36页 |
| 3.4 数据通信模块电路 | 第36-38页 |
| 3.4.1 串口通信电路 | 第36-37页 |
| 3.4.2 ZigBee无线传输电路 | 第37-38页 |
| 3.4.3 GPRS模块电路 | 第38页 |
| 3.5 系统电源模块 | 第38-39页 |
| 3.6 本章总结 | 第39-40页 |
| 第4章 检测系统软件设计 | 第40-47页 |
| 4.1 系统软件总体设计 | 第40-41页 |
| 4.2 系统固件程序设计 | 第41-44页 |
| 4.2.1 数据采集与处理程序设 | 第41-42页 |
| 4.2.2 通信程序设计 | 第42-43页 |
| 4.2.3 短信报警程序设计 | 第43-44页 |
| 4.3 上位机检测系统软件设计 | 第44-45页 |
| 4.4 上位机界面显示 | 第45-46页 |
| 4.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 传感器与检测系统测试及特性分析 | 第47-55页 |
| 5.1 传感器测试系统 | 第47-51页 |
| 5.1.1 传感器响应-恢复特性 | 第48-50页 |
| 5.1.2 传感器灵敏度特性 | 第50-51页 |
| 5.2 检测系统测试 | 第51-53页 |
| 5.2.1 传感器标定 | 第51-53页 |
| 5.2.2 误差分析 | 第53页 |
| 5.3 本章小结 | 第53-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
