| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-19页 |
| 1.2.1 光学元件面形测量方法现状 | 第10-14页 |
| 1.2.2 轮廓提取方法研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.3 平面基底台阶高度评价方法现状 | 第17-19页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 离散曲面轮廓提取算法研究 | 第20-35页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 非球面基底衍射光学元件轮廓特征分析 | 第20-24页 |
| 2.2.1 非球面元件轮廓特征介绍 | 第20-21页 |
| 2.2.2 衍射元件轮廓特征介绍 | 第21-24页 |
| 2.3 共焦扫描曲面基底台阶响应 | 第24-29页 |
| 2.3.1 共焦扫描原理 | 第24-25页 |
| 2.3.2 共焦测量曲面基底台阶响应 | 第25-29页 |
| 2.4 台阶高度计算方法研究 | 第29-34页 |
| 2.4.1 双多项式作差方法 | 第29-30页 |
| 2.4.2 单多项式回归方法 | 第30-33页 |
| 2.4.3 平面台阶转化方法 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 离散曲面轮廓测量系统实现 | 第35-44页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 系统整体结构设计思路 | 第35-36页 |
| 3.3 系统光学传感测头设计 | 第36-37页 |
| 3.4 主要运动系统实现 | 第37-43页 |
| 3.4.1 X轴运动支撑与驱动方式选择 | 第37-39页 |
| 3.4.2 Z轴运动支撑与驱动方式选择 | 第39-40页 |
| 3.4.3 运动控制与位置反馈系统硬件选型 | 第40-42页 |
| 3.4.4 数据输出采集系统硬件选型 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 离散曲面测量系统软件设计 | 第44-57页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 系统软件整体功能及方案设计 | 第44-46页 |
| 4.3 二维轮廓测量模块 | 第46-49页 |
| 4.3.1 手动对心模块 | 第46-47页 |
| 4.3.2 预扫描模块 | 第47-48页 |
| 4.3.3 衍射元件环带位置确定模块 | 第48-49页 |
| 4.4 轮廓测量数据处理模块 | 第49-54页 |
| 4.4.1 数据倾斜平移校正 | 第50-51页 |
| 4.4.2 台阶高度计算与轮廓提取模块 | 第51-53页 |
| 4.4.3 报表生成模块 | 第53-54页 |
| 4.5 3D扫描成像模块 | 第54-55页 |
| 4.5.1 三维数据测量 | 第54-55页 |
| 4.5.2 数据处理与显示模块 | 第55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第57-68页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 三维扫描测量实验 | 第57-61页 |
| 5.2.1 平面镜测试 | 第57-59页 |
| 5.2.2 曲面基底台阶样品测量实验 | 第59-61页 |
| 5.3 曲面台阶高度计算验证 | 第61-63页 |
| 5.3.1 台阶高度算法仿真分析 | 第61-62页 |
| 5.3.2 台阶高度算法实际测量实验对比 | 第62-63页 |
| 5.4 非球面及非球面基底衍射元件轮廓测量实验 | 第63-67页 |
| 5.4.1 非球面轮廓测量及加工补偿实验 | 第63-65页 |
| 5.4.2 非球面基底衍射元件轮廓测量及加工补偿实验 | 第65-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 致谢 | 第74页 |