| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第8-10页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第8-9页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 精密控制的应用领域 | 第10-12页 |
| 1.3 精密运动系统发展现状 | 第12-16页 |
| 1.3.1 精密运动控制平台发展现状 | 第12-13页 |
| 1.3.2 精密运动系统数学模型与控制算法 | 第13-15页 |
| 1.3.3 运动系统中的误差积累现象及其建模 | 第15-16页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 换台过程中直线电机的控制算法研究 | 第18-33页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 换台过程前电机运行情况 | 第18-20页 |
| 2.3 换台过程中运动电机的数学模型 | 第20-25页 |
| 2.3.1 直线电机线性部分数学模型 | 第20-22页 |
| 2.3.2 直线电机非线性部分数学模型 | 第22-25页 |
| 2.4 直线电机的控制方法 | 第25-28页 |
| 2.4.1 系统状态空间表达式的建立 | 第25-26页 |
| 2.4.2 控制系统复合控制算法 | 第26-28页 |
| 2.5 直线电机控制算法参数的估计 | 第28-29页 |
| 2.6 控制算法的证明 | 第29-31页 |
| 2.7 本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 换台过程中运动关系以及控制算法研究 | 第33-51页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 旋转电机运行情况 | 第33-34页 |
| 3.3 旋转电机数学模型的建立 | 第34-37页 |
| 3.3.1 旋转电机数学模型 | 第34-36页 |
| 3.3.2 旋转电机构造介绍 | 第36-37页 |
| 3.4 换台过程中的运动情况分析 | 第37-40页 |
| 3.4.1 运动过程简介 | 第37页 |
| 3.4.2 换台过程初始时受力情况 | 第37-38页 |
| 3.4.3 换台过程顺时针时受力情况 | 第38-39页 |
| 3.4.4 换台过程逆时针时受力情况 | 第39-40页 |
| 3.5 旋转电机变结构控制算法概述 | 第40-44页 |
| 3.5.1 柔性变结构控制 | 第40-41页 |
| 3.5.2 柔性变结构控制的工作原理 | 第41-42页 |
| 3.5.3 滑模变结构控制 | 第42-43页 |
| 3.5.4 滑模变结构控制的工作原理 | 第43-44页 |
| 3.6 旋转电机的变结构控制 | 第44-50页 |
| 3.6.1 旋转电机运动系统解析 | 第44-45页 |
| 3.6.2 简化的动态柔性变结构控制原理 | 第45-47页 |
| 3.6.3 动态柔性变结构PI控制原理 | 第47-48页 |
| 3.6.4 滑模自适应PI控制原理 | 第48-50页 |
| 3.7 本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 换台过程中运动误差的研究 | 第51-67页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 机械系统误差的情况 | 第51-52页 |
| 4.3 换台过程中运动情况 | 第52-54页 |
| 4.3.1 公转电机单体情况 | 第52-53页 |
| 4.3.2 公转电机连体自转电机情况 | 第53-54页 |
| 4.3.3 公转电机连体自转电机、X向电机情况 | 第54页 |
| 4.4 换台过程中运动误差的研究 | 第54-64页 |
| 4.4.1 多体系统运动学理论介绍 | 第54-55页 |
| 4.4.2 多体系统的基本描述方法 | 第55-57页 |
| 4.4.3 多体系统中典型体的几何描述 | 第57-58页 |
| 4.4.4 多体系统中典型体的位置描述 | 第58页 |
| 4.4.5 多体系统实际运行情况矩阵变换 | 第58-61页 |
| 4.4.6 实际运行情况下多体系统的位置表达 | 第61-64页 |
| 4.5 换台过程中运动误差的描述 | 第64-66页 |
| 4.5.1 公转单体几何及运动误差的描述 | 第65页 |
| 4.5.2 公转电机连体自转电机几何及运动误差的描述 | 第65-66页 |
| 4.5.3 公转电机连体自转电机、X向电机几何及运动误差的描述 | 第66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 换台过程控制算法的仿真验证 | 第67-74页 |
| 5.1 引言 | 第67页 |
| 5.2 速度控制器设计与仿真 | 第67-69页 |
| 5.3 位置控制器设计与仿真 | 第69-72页 |
| 5.4 旋转电机控制算法的仿真控制结果分析 | 第72页 |
| 5.5 直线电机仿真 | 第72-73页 |
| 5.6 直线电机控制算法的仿真控制结果分析 | 第73页 |
| 5.7 本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 致谢 | 第81页 |