| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-25页 |
| 1.1 扫描探针技术的研究现状 | 第8-17页 |
| 1.1.1 触针式表面检测方法 | 第10页 |
| 1.1.2 光学式表面检测方法 | 第10-11页 |
| 1.1.3 扫描隧道显微镜 | 第11页 |
| 1.1.4 原子力显微镜 | 第11-16页 |
| 1.1.5 扫描探针显微镜 | 第16-17页 |
| 1.2 探针振动信号的检测方法 | 第17-20页 |
| 1.2.1 光学杠杆法 | 第18-19页 |
| 1.2.2 光学干涉法 | 第19-20页 |
| 1.3 双频外差干涉检测方法 | 第20-24页 |
| 1.3.1 横向塞曼激光器 | 第20-21页 |
| 1.3.2 双频激光外差干涉方法 | 第21-22页 |
| 1.3.3 激光外差干涉检测技术 | 第22-24页 |
| 1.4 本文研究的目标和内容 | 第24-25页 |
| 第2章 扫描探针激光外差干涉振动位移检测系统的设计 | 第25-39页 |
| 2.1 探针检测系统的设计 | 第25-32页 |
| 2.2 微探针信号探测的系统设计 | 第32-37页 |
| 2.2.1 光探针检测原理 | 第32-33页 |
| 2.2.2 光路计算 | 第33-35页 |
| 2.2.3 相位测量原理 | 第35-36页 |
| 2.2.4 针孔以及显微物镜的选取 | 第36-37页 |
| 2.3 微探针扫描系统的成像模式 | 第37-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 微探针振动位移的数值模拟 | 第39-56页 |
| 3.1 探针-样品模型的建立 | 第39-40页 |
| 3.2 探针振动的有限元分析方法 | 第40-41页 |
| 3.3 微探针振动悬臂梁的模态分析 | 第41-43页 |
| 3.4 微探针振动位移的数值计算 | 第43-46页 |
| 3.5 微探针振动位移的规律研究 | 第46-54页 |
| 3.5.1 针尖半径大小对谐波振幅影响的探究 | 第47-51页 |
| 3.5.2 杨氏模量对谐波振幅影响的探究 | 第51-53页 |
| 3.5.3 驱动力对谐波振幅影响的探究 | 第53-54页 |
| 3.6 本章小结 | 第54-56页 |
| 第4章 探针振动位移检测系统的实验探究 | 第56-66页 |
| 4.1 光路的调整 | 第56-58页 |
| 4.1.1 激光预热、稳频 | 第56页 |
| 4.1.2 测量光路调整 | 第56-57页 |
| 4.1.3 微探针调整 | 第57-58页 |
| 4.2 压电陶瓷偏置量的优化探究 | 第58-61页 |
| 4.3 微探针的振动实验 | 第61-63页 |
| 4.3.1 微探针振动特性研究 | 第61-62页 |
| 4.3.2 微探针振动数据采样 | 第62-63页 |
| 4.4 微探针振动位移的实验研究 | 第63-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 研究工作总结 | 第66-67页 |
| 5.2 对后续工作的展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |