| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 1 引言 | 第13-28页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-18页 |
| 1.1.1 红外光的应用 | 第13-16页 |
| 1.1.2 一维亚波长结构在红外波段的应用 | 第16-18页 |
| 1.2 红外光谱调控的应用 | 第18-21页 |
| 1.2.1 红外透射调控在建筑节能上的应用 | 第18-19页 |
| 1.2.2 红外辐射调控在光谱仪和传感器上的应用 | 第19-21页 |
| 1.3 红外透射和辐射调控结构研究现状 | 第21-24页 |
| 1.3.1 红外透射调控材料VO_2的研究现状 | 第21-22页 |
| 1.3.2 红外辐射调控结构的研究现状 | 第22-24页 |
| 1.4 理论研究方法简介 | 第24-27页 |
| 1.4.1 研究方法和理论研究工具 | 第24-25页 |
| 1.4.2 理论模拟过程中使用的光学常数模型 | 第25-27页 |
| 1.5 本论文工作安排 | 第27-28页 |
| 2 基于标准干涉膜的纳米超薄膜厚度精确表征方法 | 第28-45页 |
| 2.1 引言 | 第28-30页 |
| 2.2 纳米超薄膜厚度的精确表征方法研究 | 第30-40页 |
| 2.2.1 干涉拟合法理论模拟及误差分析 | 第30-34页 |
| 2.2.2 干涉拟合法实验验证 | 第34-36页 |
| 2.2.3 双干涉拟合法 | 第36-40页 |
| 2.3 实验条件建设 | 第40-45页 |
| 2.3.1 大面积真空退火及实时检测系统搭建 | 第40-41页 |
| 2.3.2 半自动变温光谱测试系统搭建 | 第41-42页 |
| 2.3.3 二维图形化镀膜辅助装置搭建 | 第42-44页 |
| 2.3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 3 金属钒氧化退火法制备智能红外调控VO_2膜及其相变温度调节研究 | 第45-73页 |
| 3.1 引言 | 第45-46页 |
| 3.2 金属钒厚度及退火参数对VO_2性能的影响 | 第46-56页 |
| 3.2.1 实验方法 | 第46-47页 |
| 3.2.2 金属钒薄膜厚度的表征 | 第47-50页 |
| 3.2.3 退火温度对VO_2性能的影响 | 第50-53页 |
| 3.2.4 退火氧气分压对VO_2性能的影响 | 第53-54页 |
| 3.2.5 退火时间对VO_2性能的影响 | 第54页 |
| 3.2.6 金属钒厚度及退火参数影响机制研究 | 第54-56页 |
| 3.3 真空退火氧气流量调节VO_2薄膜的相变温度 | 第56-67页 |
| 3.3.1 实验方法 | 第56页 |
| 3.3.2 样品的光学特性和电学特性 | 第56-59页 |
| 3.3.3 退火氧气流量调节VO_2薄膜相变温度的机理研究 | 第59-64页 |
| 3.3.4 退火气氛灵活调节VO_2薄膜相变温度 | 第64-66页 |
| 3.3.5 不同结晶性衬底退火气氛调节效应的影响 | 第66-67页 |
| 3.4 钨掺杂调节VO_2薄膜的相变温度 | 第67-72页 |
| 3.4.1 实验方法及制备工艺过程 | 第67-68页 |
| 3.4.2 样品的光学特性 | 第68-69页 |
| 3.4.3 双靶共溅射制备调节VO_2薄膜的相变温度 | 第69-70页 |
| 3.4.4 综合性能良好的掺钨VO_2薄膜制备 | 第70-72页 |
| 3.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 4 高性能智能红外调节膜系设计与制备 | 第73-87页 |
| 4.1 引言 | 第73-74页 |
| 4.2 掺钨VO_2薄膜光学参数提取 | 第74-76页 |
| 4.2.1 高温相掺钨VO_2光学参数提取 | 第74-75页 |
| 4.2.2 低温相掺钨VO_2光学参数提取 | 第75-76页 |
| 4.3 智能节能玻璃膜系设计 | 第76-83页 |
| 4.3.1 掺钨VO_2薄膜厚度对高温红外透过率的影响 | 第76-77页 |
| 4.3.2 掺钨VO_2薄膜厚度对红外调节率的影响 | 第77-78页 |
| 4.3.3 掺钨VO_2薄膜厚度对可见透过率的影响 | 第78-79页 |
| 4.3.4 减反膜厚度对高温红外透过率的影响 | 第79页 |
| 4.3.5 减反膜厚度对红外调节率的影响 | 第79-80页 |
| 4.3.6 减反膜厚度对可见透过率的影响 | 第80-81页 |
| 4.3.7 性能均衡的智能节能玻璃膜系 | 第81-82页 |
| 4.3.8 基于双层减反膜的高性能智能节能玻璃膜系 | 第82-83页 |
| 4.4 智能节能玻璃膜系 | 第83-86页 |
| 4.4.1 智能节能玻璃膜系制备 | 第83-84页 |
| 4.4.2 智能节能玻璃膜系的光学性能 | 第84-86页 |
| 4.5 本章小结 | 第86-87页 |
| 5 金属-分布式布拉格反射镜耦合型红外窄带辐射源 | 第87-104页 |
| 5.1 引言 | 第87-88页 |
| 5.2 金属-分布式布拉格反射镜耦合型红外窄带辐射源 | 第88-99页 |
| 5.2.1 基本结构与理论模拟 | 第88-94页 |
| 5.2.2 实验制备 | 第94-95页 |
| 5.2.3 性能表征 | 第95-98页 |
| 5.2.4 吸收与辐射机理研究 | 第98-99页 |
| 5.3 背发射红外窄带辐射源 | 第99-103页 |
| 5.3.1 背发射红外窄带辐射源结构及其性能模拟 | 第100-101页 |
| 5.3.2 长波通增强型背发射红外窄带辐射源 | 第101-103页 |
| 5.4 本章小结 | 第103-104页 |
| 6 总结与展望 | 第104-106页 |
| 6.1 论文总结 | 第104页 |
| 6.2 研究展望 | 第104-106页 |
| 参考文献 | 第106-114页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第114-117页 |
