| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第6-10页 |
| 1.1 研究背景与选题意义 | 第6-7页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第6页 |
| 1.1.2 选题意义 | 第6-7页 |
| 1.2 国内外研究现状综述 | 第7-8页 |
| 1.3 本文的研究内容与结构 | 第8-10页 |
| 第二章 半导体晶圆代工厂介绍 | 第10-15页 |
| 2.1 半导体晶圆制造流程介绍 | 第10-12页 |
| 2.2 半导体晶圆厂介绍 | 第12-15页 |
| 2.2.1 半导体晶圆厂设计 | 第12-13页 |
| 2.2.2 半导体晶圆厂layout | 第13-15页 |
| 第三章 AMHS自动物料搬送系统的历史演变 | 第15-21页 |
| 3.1 机械搬送阶段 | 第15页 |
| 3.2 无人物料搬送阶段 | 第15页 |
| 3.3 自动化物料控制阶段 | 第15-21页 |
| 3.3.1 200mm晶圆厂的自动物料搬送系统 | 第15-16页 |
| 3.3.2 300mm晶圆厂的自动物料搬送系统 | 第16-18页 |
| 3.3.3 Tools to Tools式的自动物料搬送系统 | 第18-19页 |
| 3.3.4 智能化的自动物料搬送系统 | 第19-21页 |
| 第四章 AMHS自动物料搬送系统的硬件结构 | 第21-36页 |
| 4.1 200mm AMHS的构成 | 第23-31页 |
| 4.1.1 存储单元结构 | 第23-26页 |
| 4.1.2 搬送单元结构 | 第26-31页 |
| 4.2 300mm AMHS的构成 | 第31-35页 |
| 4.2.1 存储单元介绍 | 第31-33页 |
| 4.2.2 搬送单元介绍 | 第33-35页 |
| 4.3 空中搬送车的供电方式 | 第35-36页 |
| 第五章 AMHS自动物料搬送系统的控制方式 | 第36-40页 |
| 5.1 控制单元研究 | 第36-37页 |
| 5.2 控制单元的特点 | 第37-40页 |
| 第六章 AMHS系统效率影响因素研究 | 第40-59页 |
| 6.1 AMHS系统的性能效率指标 | 第40页 |
| 6.2 影响AMHS系统效率的因素 | 第40-42页 |
| 6.2.1 AMHS系统硬件的稳定性 | 第41页 |
| 6.2.2 AMHS系统内部stocker的存储能力和动态平衡能力 | 第41-42页 |
| 6.2.3 AMHS系统的整体布局和控制策略 | 第42页 |
| 6.3 实例分析 | 第42-59页 |
| 6.3.1 系统硬件稳定性对搬送效率的影响分析及对策研究 | 第44-47页 |
| 6.3.2 存储和平衡能力对搬送效率的影响分析及对策研究 | 第47-51页 |
| 6.3.3 控制策略对搬送效率的影响分析及对策研究 | 第51-59页 |
| 第七章 总结和展望 | 第59-61页 |
| 7.1 总结 | 第59-60页 |
| 7.2 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
