| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9-11页 |
| 1.2 开尔文探针力显微镜的研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 AFM系统的设计 | 第17-35页 |
| 2.1 AFM硬件系统总体设计 | 第17-18页 |
| 2.2 AFM软件系统设计 | 第18-33页 |
| 2.2.1 软件系统的总体框架 | 第19-20页 |
| 2.2.2 自动聚焦 | 第20-23页 |
| 2.2.3 模板匹配 | 第23-30页 |
| 2.2.4 位置微调 | 第30-31页 |
| 2.2.5 扫描通讯 | 第31-33页 |
| 2.3 本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 FM-KPFM的原理与搭建 | 第35-51页 |
| 3.1 KPFM的分类与原理 | 第35-42页 |
| 3.1.1 基本原理 | 第35-37页 |
| 3.1.2 电场力和电场力梯度 | 第37-38页 |
| 3.1.3 AM-KPFM | 第38-39页 |
| 3.1.4 FM-KPFM | 第39-41页 |
| 3.1.5 AM-KPFM与FM-KPFM的比较 | 第41-42页 |
| 3.2 FM-KPFM系统的搭建 | 第42-49页 |
| 3.2.1 锁相放大器原理介绍 | 第42-44页 |
| 3.2.2 KPFM的反馈原理 | 第44-46页 |
| 3.2.3 组建FM-KPFM系统 | 第46-49页 |
| 3.3 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 二维异质结的测试 | 第51-65页 |
| 4.1 系统加电模拟不同样品测试 | 第51-52页 |
| 4.2 系统重复性分析 | 第52页 |
| 4.3 二维异质结的制备 | 第52-53页 |
| 4.4 AM和FM模式的比较 | 第53-54页 |
| 4.5 原始二维异质结的FM-KPFM分析 | 第54-61页 |
| 4.5.1 ReS_2-BP异质结电势差测试 | 第54-57页 |
| 4.5.2 ReS_2-MoTe_2异质结电势差测试 | 第57-59页 |
| 4.5.3 BP-MoSe_2异质结电势差测试 | 第59-61页 |
| 4.6 氯离子处理后二维异质结的KPFM分析 | 第61-63页 |
| 4.7 本章小结 | 第63-65页 |
| 第5章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 工作总结 | 第65页 |
| 5.2 工作展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |