Linnik型显微白光光谱干涉测量方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 微结构表面形貌测试 | 第9-10页 |
| 1.2 薄膜技术的应用与厚度检测 | 第10-12页 |
| 1.3 白光光谱干涉法 | 第12-14页 |
| 1.4 论文主要内容 | 第14-15页 |
| 第2章 白光光谱干涉基本理论 | 第15-21页 |
| 2.1 双光束干涉理论 | 第15-17页 |
| 2.2 白光干涉特性 | 第17-18页 |
| 2.3 干涉可见度与相干长度 | 第18-19页 |
| 2.4 白光时域相干与频域相干 | 第19-20页 |
| 2.5 本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 测量系统构建 | 第21-29页 |
| 3.1 系统整体设计 | 第21-22页 |
| 3.2 系统硬件 | 第22-26页 |
| 3.2.1 干涉模块 | 第22-23页 |
| 3.2.2 运动及支撑模块 | 第23-24页 |
| 3.2.3 光谱采集模块 | 第24-26页 |
| 3.2.4 辅助调节模块 | 第26页 |
| 3.3 系统软件 | 第26-28页 |
| 3.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第4章 绝对距离及微结构表面形貌测量 | 第29-41页 |
| 4.1 绝对距离计算方法 | 第29-30页 |
| 4.2 相位提取算法 | 第30-34页 |
| 4.2.1 傅里叶变换 | 第30-31页 |
| 4.2.2 时间相移法 | 第31-32页 |
| 4.2.3 相位提取方法比较 | 第32-34页 |
| 4.3 绝对距离验证实验 | 第34-38页 |
| 4.4 微结构表面形貌测量 | 第38-40页 |
| 4.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第5章 薄膜厚度计算理论分析 | 第41-49页 |
| 5.1 薄膜反射特性 | 第41-42页 |
| 5.2 局部优化算法 | 第42-43页 |
| 5.3 基于非线性相位波动频率的初值估计方法 | 第43-46页 |
| 5.4 有效初值估计范围 | 第46-47页 |
| 5.5 折射率参数影响 | 第47-48页 |
| 5.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第6章 薄膜厚度测量实验 | 第49-65页 |
| 6.1 测量信号中非线性相位分析 | 第49-54页 |
| 6.1.1 等效厚度非线性相位 | 第49-53页 |
| 6.1.2 物镜组非线性相位 | 第53-54页 |
| 6.2 薄膜测量实验 | 第54-62页 |
| 6.2.1 标准薄膜测量实验 | 第54-60页 |
| 6.2.2 其它薄膜测量 | 第60-62页 |
| 6.3 本章小结 | 第62-65页 |
| 第7章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
