| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 国内研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 研究要解决的问题 | 第15页 |
| 1.3.1 如何设计高性价比的光纤干涉仪臂长差测量系统 | 第15页 |
| 1.3.2 如何改进传统频率扫描干涉法 | 第15页 |
| 1.4 本文拟达到目标 | 第15-17页 |
| 第2章 光纤干涉仪臂长差的测量原理 | 第17-26页 |
| 2.1 频率扫描干涉理论 | 第17-20页 |
| 2.1.1 频率扫描干涉法绝对距离测量原理 | 第17-19页 |
| 2.1.2 光频域反射计测量原理 | 第19-20页 |
| 2.2 传统频率扫描干涉法的实施方法及其限制 | 第20-22页 |
| 2.2.1 基于法布里珀罗腔的频率扫描干涉法 | 第20-21页 |
| 2.2.2 基于光频率梳的频率扫描干涉法 | 第21-22页 |
| 2.3 使用参考干涉仪的频率扫描干涉技术 | 第22-25页 |
| 2.3.1 使用已知臂长差的参考干涉仪 | 第22-24页 |
| 2.3.2 使用两臂光程差可变的参考干涉仪测量臂长差的原理 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 全光纤干涉仪臂长差测量系统的设计 | 第26-36页 |
| 3.1 光路结构设计 | 第26-28页 |
| 3.1.1 可调谐激光光源的选择 | 第26-27页 |
| 3.1.2 全光纤干涉仪臂长差测量系统光路结构设计 | 第27页 |
| 3.1.3 光路中光器件的参数选择 | 第27-28页 |
| 3.2 测量系统软硬件设计 | 第28-32页 |
| 3.2.1 光电探测器的类型选择 | 第28-29页 |
| 3.2.2 参考干涉仪两臂光程差改变装置设计 | 第29-30页 |
| 3.2.3 测量系统软件设计 | 第30-32页 |
| 3.3 全光纤干涉仪臂长差测量系统性能测试 | 第32-35页 |
| 3.3.1 参考干涉仪干涉信号采集 | 第32-33页 |
| 3.3.2 干涉信号截取算法 | 第33-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 位相变化量与光程差改变量获取方法研究 | 第36-49页 |
| 4.1 数据的去噪处理 | 第36-39页 |
| 4.1.1 噪声对计算相位变化量的影响 | 第36-38页 |
| 4.1.2 数字滤波器的选择 | 第38页 |
| 4.1.3 使用数字滤波器进行滤波 | 第38-39页 |
| 4.2 位相变化量的获取方法 | 第39-45页 |
| 4.2.1 基于零交叉点查找的位相变化量获取方法 | 第39-42页 |
| 4.2.2 基于幅度的位相变化量计算方法 | 第42页 |
| 4.2.3 基于希尔伯特变换的位相变化量计算方法 | 第42-44页 |
| 4.2.4 三种位相测量方法的精度对比分析 | 第44-45页 |
| 4.3 参考干涉仪两臂光程差改变量的精确测量 | 第45-48页 |
| 4.3.1 利用可调谐激光器（静态）对位移台移动距离进行测量 | 第45-47页 |
| 4.3.2 使用激光干涉仪标定位移台移动距离 | 第47-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 实验与结果分析 | 第49-58页 |
| 5.1 臂长差测量对比实验 | 第49-52页 |
| 5.2 臂长差测量不确定度实验 | 第52-57页 |
| 5.2.1 测量不确定度公式推导 | 第52-53页 |
| 5.2.2 测量不确定度公式实验验证 | 第53-54页 |
| 5.2.3 不同长度臂长差测量不确定度及结果分析 | 第54-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
